[实用新型]一种冷却组件、压头机构及分选测试设备

权利要求书

1.一种冷却组件，其特征在于，包括换热盘(12)，所述换热盘(12)的一侧具有中心腔室(121)和围绕所述中心腔室(121)布设的多个流道区域(120)，每一所述流道区域(120)内均设置有冷却流道(123)，每一所述冷却流道(123)在自身所在的流道区域(120)内沿曲线或折线由靠近所述中心腔室(121)的位置向远离所述中心腔室(121)的位置延伸；每一所述冷却流道(123)靠近所述中心腔室(121)的一端与所述中心腔室(121)连通；

其中，所述中心腔室(121)用于供冷媒流入，每一所述冷却流道(123)远离所述中心腔室(121)的一端用于供冷媒流出；或者，每一所述冷却流道(123)远离所述中心腔室(121)的一端用于供冷媒流入，所述中心腔室(121)用于供冷媒流出。

2.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，每相邻两个所述流道区域(120)之间均设置有阻隔部(125)，每一所述阻隔部(125)用于分隔其两侧的所述冷却流道(123)。

3.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，每一所述冷却流道(123)在自身所在的所述流道区域(120)内沿“S”形曲线由靠近所述中心腔室(121)的位置向远离所述中心腔室(121)的位置延伸。

4.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，每一所述流道区域(120)的宽度尺寸，在由靠近所述中心腔室(121)的一端至远离所述中心腔室(121)的一端的方向上逐渐增大。

5.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，所述冷却组件(10)还包括安装座(11)，所述安装座(11)包括座本体(110)及固定连接在所述座本体(110)上的配合部(112)；

所述换热盘(12)安装在所述座本体(110)上，且具有所述中心腔室(121)和所述冷却流道(123)的一侧与所述配合部(112)贴合，以使所述配合部(112)密封所述中心腔室(121)和各个所述冷却流道(123)。

6.根据权利要求5所述的冷却组件，其特征在于，所述座本体(110)和所述配合部(112)内部具有第一输液通道(114)，所述第一输液通道(114)贯穿所述配合部(112)朝向所述换热盘(12)的一侧表面，并与所述中心腔室(121)连通。

7.根据权利要求5所述的冷却组件，其特征在于，所述座本体(110)还具有位于所述配合部(112)一侧的安装腔(111)以及与所述安装腔(111)连通的第一开口(113)；

所述换热盘(12)密封设置在所述第一开口(113)，且所述换热盘(12)背离所述中心腔室(121)的一侧通过所述第一开口(113)显露。

8.根据权利要求5所述的冷却组件，其特征在于，所述座本体(110)还具有位于所述配合部(112)背离所述换热盘(12)的一侧的汇流腔(116)，所述配合部(112)对应每一所述流道区域(120)均开设有连通孔(115)，每一所述冷却流道(123)远离所述中心腔室(121)的一端通过对应的所述连通孔(115)与所述汇流腔(116)连通；

所述座本体(110)还具有与所述汇流腔(116)连通的第二输液通道(118)。

9.一种压头机构，其特征在于，包括压头(40)、加热件(30)及如权利要求1至8任一项所述的冷却组件(10)；

所述压头(40)安装在所述换热盘(12)背离所述中心腔室(121)的一侧，所述加热件(30)设置在所述压头(40)与所述换热盘(12)之间。

10.一种分选测试设备，其特征在于，包括如权利要求9所述的压头机构。