[实用新型]一种扩膜机构

权利要求书

1.一种扩膜机构，其特征在于：其包括安装座(1)，所述安装座(1)上设置有晶圆工位(2)及扩膜驱动机构(5)，所述晶圆工位(2)上配合设置有夹持组件(3)，所述扩膜驱动机构(5)的顶升端设置有背光玻璃(6)，所述背光玻璃(6)在所述扩膜驱动机构(5)驱动时对所述晶圆工位(2)的晶圆顶升扩膜。

2.根据权利要求1所述的一种扩膜机构，其特征在于：所述晶圆工位(2)上设置有真空槽(7)。

3.根据权利要求2所述的一种扩膜机构，其特征在于：所述真空槽(7)包括第一真空弧形槽(8)及第二真空弧形槽(9)，所述第一真空弧形槽(8)及所述第二真空弧形槽(9)呈圆形设置。

4.根据权利要求1所述的一种扩膜机构，其特征在于：所述的扩膜机构还包括旋转机构(10)，所述旋转机构(10)驱动所述安装座(1)旋转。

5.根据权利要求1所述的一种扩膜机构，其特征在于：所述扩膜驱动机构(5)包括驱动组件(11)、直线导轨(12)及活动组件(13)，所述活动组件(13)可相对于所述安装座(1)上下移动，所述活动组件(13)具有扩膜顶升部(15)，所述扩膜顶升部(15)位于所述晶圆工位(2)的下方，所述驱动组件(11)驱动移动块(16)在所述直线导轨(12)上移动，所述移动块(16)上设置有位于所述活动组件(13)下方的若干个顶升块(17)，若干个所述顶升块(17)的一侧均设置有顶升斜面(18)，所述活动组件(13)具有若干个受动块(19)，若干个所述受动块(19)分别与若干个所述顶升斜面(18)配合，所述背光玻璃(6)位于所述扩膜顶升部(15)的顶部。

6.根据权利要求5所述的一种扩膜机构，其特征在于：所述驱动组件(11)包括驱动电机(20)及丝杆组件(21)，所述驱动电机(20)驱动所述丝杆组件(21)传动，所述移动块(16)配合设置在所述丝杆组件(21)上。

7.根据权利要求6所述的一种扩膜机构，其特征在于：所述扩膜顶升部(15)为圆形块。

8.根据权利要求1－7任一项所述的一种扩膜机构，其特征在于：所述夹持组件(3)包括第一夹持板(22)、第二夹持板(23)及夹持驱动机构(24)，所述夹持驱动机构(24)驱动所述第一夹持板(22)及所述第二夹持板(23)夹紧/松开。