[实用新型]单颗晶圆检测治具及AOI光学检测机

说明书

本实用新型公开一种单颗晶圆检测治具及AOI光学检测机，单颗晶圆检测治具包括：治具载板，治具载板的第一侧设有第一凹槽，第一凹槽内嵌设有晶圆支撑件，晶圆支撑件具有一开口，开口内放置有用于抵靠待测晶圆的承靠件，待测晶圆以及与待测晶圆相适配的承靠件将开口挤满。单颗晶圆检测治具中治具载板的第一侧的第一凹槽内嵌设有晶圆支撑件，待测晶圆以及与待测晶圆相适配的承靠件将晶圆支撑件的开口挤满，方便晶圆的快速定位，进而便于佐证AOI光学检测机的检测能力。

技术领域

本实用新型一般涉及半导体检测技术领域，具体涉及一种单颗晶圆检测治具及AOI光学检测机。

背景技术

AOI的中文全称是自动光学检测，是基于光学原理来对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备，AOI是新兴起的一种新型测试技术，但是发展迅速。目前，AOI光学检测机在出售时，客户可能会质疑AOI光学检测机的检出能力，而AOI光学检测机的厂家只能够通过标片给客户确认佐证，不能够将客户提供的晶圆进行上机检测，导致无法验证AOI光学检测机的检出能力，进而无法取消客户的质疑。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种单颗晶圆检测治具及AOI光学检测机。

第一方面，本实用新型实施例提供一种单颗晶圆检测治具，包括：治具载板，所述治具载板的第一侧设有第一凹槽，所述第一凹槽内嵌设有晶圆支撑件，所述晶圆支撑件具有一开口，所述开口内放置有用于抵靠待测晶圆的承靠件，所述待测晶圆以及与所述待测晶圆相适配的承靠件将所述开口挤满。

在一些示例中，所述治具载板的第二侧设有第二凹槽，所述第二凹槽内嵌设有用于吸附所述待测晶圆的磁性件以及用于遮挡所述磁性件的盖板，所述第二侧与所述第一侧为所述治具载板的厚度方向上相对的两侧；

在所述治具载板的厚度方向上，所述第二凹槽在所述治具载板上的正投影至少覆盖所述开口在所述治具载板上的正投影。

在一些示例中，在所述治具载板的厚度方向上，所述第二凹槽在所述治具载板上的正投影与所述第一凹槽在所述治具载板上的正投影重合。

在一些示例中，所述第二凹槽呈阶梯状，沿着所述第二凹槽朝向所述第二侧的方向，所述第二凹槽逐渐增大并形成两个台阶。

在一些示例中，所述磁性件为磁铁。

在一些示例中，所述晶圆支撑件呈方环状结构。

在一些示例中，所述检测治具配置有多种尺寸的所述承靠件。

在一些示例中，所述晶圆支撑件为钢板支撑件。

在一些示例中，所述治具载板的边缘处设置有至少两个用于定位的异形槽。

第二方面，本实用新型实施例提供一种AOI光学检测机，包括检测台和如上所述的单颗晶圆检测治具，所述检测台上设有至少两个间隔的定位销，所述单颗晶圆检测治具放置在所述检测台上，所述定位销与所述单颗晶圆检测治具中的异形槽一一对应卡接配合。

本实用新型的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：

本实用新型实施例提供的单颗晶圆检测治具及AOI光学检测机，单颗晶圆检测治具中治具载板的第一侧的第一凹槽内嵌设有晶圆支撑件，待测晶圆以及与待测晶圆相适配的承靠件将晶圆支撑件的开口挤满，方便晶圆的快速定位，进而便于佐证AOI光学检测机的检测能力；

优选在治具载板的第二侧设置磁性件，能够吸附待测晶圆，避免晶圆的晃动甚至脱离检测治具；

优选检测治具配置有多种尺寸的承靠件，检测治具可以容纳多种尺寸的晶圆；

优选治具载板具有的边缘处设置有至少两个用于定位的异形槽，方便检测治具在AOI光学检测机的检测台上的安装定位。

附图说明