[实用新型]单颗晶圆检测治具及AOI光学检测机

权利要求书

1.一种单颗晶圆检测治具，其特征在于，包括：治具载板，所述治具载板的第一侧设有第一凹槽，所述第一凹槽内嵌设有晶圆支撑件，所述晶圆支撑件具有一开口，所述开口内放置有用于抵靠待测晶圆的承靠件，所述待测晶圆以及与所述待测晶圆相适配的承靠件将所述开口挤满。

2.根据权利要求1所述的单颗晶圆检测治具，其特征在于，所述治具载板的第二侧设有第二凹槽，所述第二凹槽内嵌设有用于吸附所述待测晶圆的磁性件以及用于遮挡所述磁性件的盖板，所述第二侧与所述第一侧为所述治具载板的厚度方向上相对的两侧；

在所述治具载板的厚度方向上，所述第二凹槽在所述治具载板上的正投影至少覆盖所述开口在所述治具载板上的正投影。

3.根据权利要求2所述的单颗晶圆检测治具，其特征在于，在所述治具载板的厚度方向上，所述第二凹槽在所述治具载板上的正投影与所述第一凹槽在所述治具载板上的正投影重合。

4.根据权利要求2所述的单颗晶圆检测治具，其特征在于，所述第二凹槽呈阶梯状，沿着所述第二凹槽朝向所述第二侧的方向，所述第二凹槽逐渐增大并形成两个台阶。

5.根据权利要求2所述的单颗晶圆检测治具，其特征在于，所述磁性件为磁铁。

6.根据权利要求1所述的单颗晶圆检测治具，其特征在于，所述晶圆支撑件呈方环状结构。

7.根据权利要求1所述的单颗晶圆检测治具，其特征在于，所述检测治具配置有多种尺寸的所述承靠件。

8.根据权利要求1所述的单颗晶圆检测治具，其特征在于，所述晶圆支撑件为钢板支撑件。

9.根据权利要求1-8任一项所述的单颗晶圆检测治具，其特征在于，所述治具载板的边缘处设置有至少两个用于定位的异形槽。

10.一种AOI光学检测机，其特征在于，包括检测台和如权利要求9所述的单颗晶圆检测治具，所述检测台上设有至少两个间隔的定位销，所述单颗晶圆检测治具放置在所述检测台上，所述定位销与所述单颗晶圆检测治具中的异形槽一一对应卡接配合。