[实用新型]一种半导体晶棒自动翻转装置

说明书

本实用新型涉及一种半导体晶棒自动翻转装置，设有刷洗槽、由驱动装置驱动的旋转毛刷；其特征是：在所述刷洗槽内，旋转毛刷的下方设有放置待清洗的晶棒的限位板，在该限位板上设有数条用以放置晶棒的限位卡槽，在每个限位止槽之间设有限位盘条，在每个限位卡槽的下方设有一根驱动轴，该驱动轴的轴体表面设有滚花沟槽，轴体两端设有方便转动的轴承方便地固定在所述限位板上，每个驱动轴有一端与设置在刷洗槽外的驱动机构驱动连接的主动齿轮带动的一个从动齿轮驱动连接。本实用新型适用于半导体晶棒的清洗，具有结构简洁合理、制作容易、使用操作安全快捷、晶棒清洗效果好的优点。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体晶棒清洗装置技术领域，一种半导体晶棒简称晶棒的清洗装置，具体是一种半导体晶棒自动翻转装置，使半导体晶体棒在清洗过程中进行自动翻转，保证晶棒能全方位地清洗的一种改进的装置。

背景技术

传统的晶棒腐蚀后清洗工艺过程中，因晶棒放置在清洗槽体内不能翻转，刷洗操作时只有上面可刷洗到，无法做到晶棒圆周的全方位刷洗；需要使用人工进行翻转，致使无法保证晶棒翻转均匀，导致晶棒刷洗的不均匀不彻底，且操作不慎会导致晶棒磕碰损坏无法使用。因此，需要提出一种改进的清洗装置，以保证晶棒的清洗效果满足工艺要求。

实用新型内容

本实用新型为了解决上术技术问题，提出一种半导体晶棒自动翻转装置。本装置通过设置合理的驱动结构，实现在清洗过程中，晶棒能自动翻转，全方位得到清洗，清洗效果达到工艺要求。具有结构简洁合理、制作容易、使用操作安全快捷、晶棒清洗效果好的优点。

本实用新型使用如下技术方案：

一种半导体晶棒自动翻转装置，设有刷洗槽、由驱动装置驱动的旋转毛刷；其特征是：在所述刷洗槽内，旋转毛刷的下方设有放置待清洗的晶棒的限位板，在该限位板上设有数条用以放置晶棒的限位卡槽，在每个限位止槽之间设有限位盘条，在每个限位卡槽的下方设有一根驱动轴，该驱动轴的轴体表面设有滚花沟槽，轴体两端设有方便转动的轴承方便地固定在所述限位板上，每个驱动轴有一端与设置在刷洗槽外的驱动机构驱动连接的主动齿轮带动的一个从动齿轮驱动连接。

本实用新型进一步完善和实施的优化方案是：

所述限位板的限位卡槽为限位板中间镂空的一个间隔，镂空处边沿稍有斜度，镂空间隔大小与晶棒相匹配，保证晶棒不会从镂空间隔处掉落，同时也保证晶棒下棒体能与驱动轴驱动结合紧密。

所述设置在刷洗槽外的驱动机构为现有技术中的自动控制电机。

所述旋转毛刷的驱动装置为现有技术中的能平行旋转和上下变力化压力装置。

具体工作流程：

a).手动把晶棒放置在晶棒限位板内的限位卡槽内，晶棒外径跟限位卡槽和驱动轴同时接触，通过晶棒侧上方的限位盘条保证晶棒在限位卡槽内不发生位移；

b).在刷洗槽内注入药液，启动动力机构工作驱动，控制主动齿轮旋转，主动齿轮齿带动的从动齿轮同步旋转，旋转动力由从动齿轮传输至晶棒下的驱动轴上；

c).驱动轴匀速转动，晶棒与驱动轴的滚花沟槽产生摩擦力，带动晶棒旋转，同时旋转毛刷转动，完成对晶棒圆周全方位浸泡清洗，无需人工翻转，清洗洁净度及效率和安全性大大提高。

本实用新型的有益效果：

1、结构简洁合理，制作容易，制作成本低。

2、使用时操作简单，安全便捷。

3、晶棒刷洗完全彻底，刷洗效果好，效率高，满足工艺要求。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的无旋转毛刷显示的结构示意图。