[实用新型]一种半导体晶棒自动翻转装置

权利要求书

1.一种半导体晶棒自动翻转装置，设有刷洗槽(8)、由驱动装置驱动的旋转毛刷(7)；其特征是：在所述刷洗槽内，旋转毛刷的下方设有放置待清洗的晶棒(6)的限位板(5)，在该限位板上设有数条用以放置晶棒的限位卡槽(51)，在每个限位止槽之间设有限位盘条(52)，在每个限位卡槽的下方设有一根驱动轴(4)，该驱动轴的轴体表面设有滚花沟槽(41)，轴体两端设有方便转动的轴承方便地固定在所述限位板上，每个驱动轴有一端与设置在刷洗槽外的驱动机构(1)驱动连接的主动齿轮(2)带动的一个从动齿轮(3)驱动连接。

2.根据权利要求1所述的晶棒自动翻转装置，其特征是：所述限位板的限位卡槽为限位板中间镂空的一个间隔，镂空处边沿稍有斜度，镂空间隔大小与晶棒相匹配，保证晶棒不会从镂空间隔处掉落，同时也保证晶棒下棒体能与驱动轴驱动结合紧密。

3.根据权利要求1所述的晶棒自动翻转装置，其特征是：所述设置在刷洗槽外的驱动机构为现有技术中的自动控制电机。

4.根据权利要求1所述的晶棒自动翻转装置，其特征是：所述旋转毛刷的驱动装置为现有技术中的能平行旋转和上下变化压力装置。