[实用新型]一种晶圆检测设备用放料架结构

说明书

本实用新型涉及晶圆加工设备组件技术领域，尤其涉及一种晶圆检测设备用放料架结构，包括载板、可拆卸安装在载板中部的晶圆、设置在载板外侧且包围载板的U型架和一体固定在U型架四个拐角处上的安装架，所述U型架的两个竖直端内部均设置有用于载板安拆过程中综合防划伤的防护部，所述U型架的水平端上设置有用于载板插入后限位固定的锁板部。本实用新型中，通过将原先的U型架结构进行了科学合理化改良，在U型架上设置了轮槽、插槽、转辊和侧挡条，可将载板柔性限位引导到U型架之内，有效降低了载板和U型架之间刚性接触磨损，从而延长了放料架以及载板的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备组件技术领域，尤其涉及一种晶圆检测设备用放料架结构。

背景技术

晶圆切割加工前，需要将晶圆片通过仪器进行检测处理，以此来检测晶圆是否存在质量问题。如图4所示，放料架是安装在晶圆检测设备上的一个重要组件，其主要的作用是便于装有载板的晶圆手动或者自动定点安插到检测设备的工位上，而这种类型的放料架结构在实际使用过程中存在以下不足之处：第一、U型架整体是由铝合金材料制成，而载板是由不锈钢材料制成，由于放料架和载板上均未设置任何防护结构，长期使用过程中，U型架和载板之间易产生刚性接触磨损，降低了放料架以及载板的使用寿命；第二、载板安插到U型架后不能有效的固定，检测设备的探头、机械手或者其他组件工作时，会导致载板在U型架内横向偏移和晃动，从而降低了晶圆安装以及检测过程中的稳定性。

有鉴于此，设计制造出一种能够降低载板与U型架之间接触磨损，同时能够实现载板和U型架之间稳定组装的放料架，在晶圆检测设备上显得尤为重要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决传统的晶圆检测设备用放料架结构，存在接触磨损严重以及安插稳定性差的问题，而提出的一种晶圆检测设备用放料架结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆检测设备用放料架结构，包括载板、可拆卸安装在载板中部的晶圆、设置在载板外侧且包围载板的U型架和一体固定在U型架四个拐角处上的安装架，所述U型架的两个竖直端内部均设置有用于载板安拆过程中综合防划伤的防护部，所述U型架的水平端上设置有用于载板插入后限位固定的锁板部。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述防护部包括等距开设在U型架两个竖直端底部的多个轮槽和转动安装在多个轮槽内侧且顶部高于U型架下端内壁的转辊。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述防护部还包括开设在两个竖直端内部侧向的插槽和可拆卸安装在插槽内侧且与载板侧壁相贴合的侧挡条。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述转辊是由硫化橡胶材料制成。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述侧挡条是由亚克力材料制成。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述锁板部包括安装在U型架水平端上方的滑盒、活动安装在滑盒内侧且与载板上端面相贴合的斜面滑块和开设在载板后端且与斜面滑块的斜面相对应的斜口。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述滑盒的内侧位于滑盒和斜面滑块之间安装有折叠弹片。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述U型架的水平端内侧固定连接有与载板下端面相贴合的限位托块。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：