[实用新型]一种晶圆检测设备用放料架结构有效
| 申请号： | 202320140106.6 | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN219286351U | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 朱国旗;孙辉;黄执露;周雷;何洪文 | 申请（专利权）人： | 合肥沛顿存储科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海恩凡知识产权代理有限公司 31459 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 备用 放料架 结构 | ||
1.一种晶圆检测设备用放料架结构，包括载板(1)、可拆卸安装在载板(1)中部的晶圆(2)、设置在载板(1)外侧且包围载板(1)的U型架(3)和一体固定在U型架(3)四个拐角处上的安装架(303)，其特征在于，所述U型架(3)的两个竖直端内部均设置有用于载板(1)安拆过程中综合防划伤的防护部，所述U型架(3)的水平端上设置有用于载板(1)插入后限位固定的锁板部。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备用放料架结构，其特征在于，所述防护部包括等距开设在U型架(3)两个竖直端底部的多个轮槽(301)和转动安装在多个轮槽(301)内侧且顶部高于U型架(3)下端内壁的转辊(4)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测设备用放料架结构，其特征在于，所述防护部还包括开设在两个竖直端内部侧向的插槽(302)和可拆卸安装在插槽(302)内侧且与载板(1)侧壁相贴合的侧挡条(5)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测设备用放料架结构，其特征在于，所述转辊(4)是由硫化橡胶材料制成。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测设备用放料架结构，其特征在于，所述侧挡条(5)是由亚克力材料制成。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备用放料架结构，其特征在于，所述锁板部包括安装在U型架(3)水平端上方的滑盒(6)、活动安装在滑盒(6)内侧且与载板(1)上端面相贴合的斜面滑块(7)和开设在载板(1)后端且与斜面滑块(7)的斜面相对应的斜口(101)。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆检测设备用放料架结构，其特征在于，所述滑盒(6)的内侧位于滑盒(6)和斜面滑块(7)之间安装有折叠弹片(8)。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆检测设备用放料架结构，其特征在于，所述U型架(3)的水平端内侧固定连接有与载板(1)下端面相贴合的限位托块(304)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
