[实用新型]一种复合式真空旋转蒸镀炉

说明书

本实用新型公开了一种复合式真空旋转蒸镀炉，属于蒸镀炉技术领域。一种复合式真空旋转蒸镀炉，包括：炉体；承载支架，连接在炉体中；第一料舟，固定连接在承载支架上；第二料舟，固定连接在承载支架上，且所述第二料舟和第一料舟相抵；定位顶杆，和第二料舟相抵；热反射屏，固定连接在定位顶杆上，所述热反射屏和第二料舟相对；还包括炉盖，所述炉盖和炉体固定相连，所述炉盖侧壁上固定连接有插杆，所述插杆和定位顶杆插接相连；通过该装置中设置的第一料舟和第二料舟，从而能够一次装载多种规格物料，适用性更高，尤其适用于批量和试验样品同时装载。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀炉技术领域，尤其涉及一种复合式真空旋转蒸镀炉。

背景技术

蒸镀是通过蒸镀炉对镀膜材料加热使其气化沉积在基体或工件，如手机壳体，在其表面以形成薄膜或涂层的工艺；

一种蒸镀炉，于2013-09-22公开了，公开号为CN203513787U，一种蒸镀炉，包括：一蒸镀炉炉体；所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘，所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极，所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架，每一所述工件支架包括一转轴，所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘，所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转；所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构，每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应，所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转，使用本实用新型一种蒸镀炉，能够有效地提高工件蒸镀的均匀性；

但上述方案中的蒸镀炉仍存在一定不足，在使用过程中，可根据炉腔大小装载靶材和原料，但现有方案中的炉腔中仅能装载一种规格的产品，适用性有待进一步提高。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中的蒸镀炉适用性差，仅能装填一种规格产品的问题而提出的一种复合式真空旋转蒸镀炉。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种复合式真空旋转蒸镀炉，包括：

炉体；

承载支架，连接在炉体中；

第一料舟，固定连接在承载支架上；

第二料舟，固定连接在承载支架上，且所述第二料舟和第一料舟相抵；

定位顶杆，和第二料舟相抵；

热反射屏，固定连接在定位顶杆上。

优选地，还包括炉盖，所述炉盖和炉体固定相连，所述炉盖侧壁上固定连接有插杆，所述插杆和定位顶杆插接相连。

进一步地，所述定位顶杆上套接有定位弹簧，所述定位弹簧一端和热反射屏固定相连，所述定位弹簧另一端和炉盖侧壁相抵。

优选地，所述承载支架上固定连接有限位卡，所述炉体上开设有限位槽，所述限位卡和限位槽相匹配。

优选地，所述第一料舟上固定连接有端盖。

进一步地，所述端盖为销钉固定式端盖。

为了使料舟不从承载支架中脱落，进一步地，所述承载支架上固定连接有限位杆，所述限位杆和端盖相抵。

为了便于在工作过程中，将工作产生的热气排出，优选地，所述第一料舟和第二料舟上均开设有排气孔，所述排气孔设有多个，且均匀分布在所述料舟侧壁上。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种复合式真空旋转蒸镀炉，具备以下有益效果：

1、该复合式真空旋转蒸镀炉，通过该装置中设置的第一料舟和第二料舟，在第一料舟和第二料舟中可以装载不同的物料，从而能够一次装载多种规格物料，适用性更高，尤其适用于批量和试验样品同时装载。

附图说明