[实用新型]一种复合式真空旋转蒸镀炉

权利要求书

1.一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，包括：

炉体(1)；

承载支架(2)，连接在炉体(1)中；

第一料舟(4)，固定连接在承载支架(2)上；

第二料舟(3)，固定连接在承载支架(2)上，且所述第二料舟(3)和第一料舟(4)相抵；

定位顶杆(5)，和第二料舟(3)相抵；

热反射屏(501)，固定连接在定位顶杆(5)上。

2.根据权利要求1所述的一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，还包括炉盖(104)，所述炉盖(104)和炉体(1)固定相连，所述炉盖(104)侧壁上固定连接有插杆(1042)，所述插杆(1042)和定位顶杆(5)插接相连。

3.根据权利要求2所述的一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，所述定位顶杆(5)上套接有定位弹簧(6)，所述定位弹簧(6)一端和热反射屏(501)固定相连，所述定位弹簧(6)另一端和炉盖(104)侧壁相抵。

4.根据权利要求1所述的一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，所述承载支架(2)上固定连接有限位卡(201)，所述炉体(1)上开设有限位槽(103)，所述限位卡(201)和限位槽(103)相匹配。

5.根据权利要求1所述的一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，所述第一料舟(4)上固定连接有端盖(401)。

6.根据权利要求5所述的一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，所述端盖(401)为销钉固定式端盖(401)。

7.根据权利要求4所述的一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，所述承载支架(2)上固定连接有限位杆(202)，所述限位杆(202)和端盖(401)相抵。

8.根据权利要求1所述的一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，所述第一料舟(4)和第二料舟(3)上均开设有排气孔(7)，所述排气孔(7)设有多个，且均匀分布在所述料舟侧壁上。