[实用新型]一种硅片清洗用翻转单元

说明书

本实用新型提供一种硅片清洗用翻转单元，包括翻转装置以及可沿着翻转装置的轴线移动的分离托举装置，分离后的一组硅片被放置于分离托举装置上，分离托举装置动作，该组硅片落在翻转装置内，翻转装置动作，对硅片进行翻转。本实用新型的有益效果是翻转装置与分离托举装置相配合，分离托举装置接收硅片后，向下移动，硅片落入相对应的侧面卡位槽内，并对承托部的侧面卡位槽承托，硅片停留在翻转装置中，翻转装置翻转，实现硅片放置状态的改变，使得多组硅片清洗后，进行各组硅片翻转、下载，能够同时进行多组硅片清洗，提高硅片的清洗产能。

技术领域

本实用新型属于硅片生产技术领域，尤其是涉及一种硅片清洗用翻转单元。

背景技术

目前硅片清洗时只能单一载具承载量进行清洗，会造成产能不足，一般是通过扩大槽体体积，增长机械臂长度来扩大清洗产能，增加了设备的占地面积，上载载具通过专用水槽返回出口，载具表面附着大量水量，载具存在滴水现象，易造成载具上载口积水。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型提供一种硅片清洗用翻转单元，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种硅片清洗用翻转单元，包括翻转装置以及可沿着翻转装置的轴线移动的分离托举装置，分离后的一组硅片被放置于分离托举装置上，分离托举装置动作，该组硅片落在翻转装置内，翻转装置动作，对硅片进行翻转。

进一步的，翻转装置包括箱体以及与箱体连接的旋转装置，旋转装置驱动箱体翻转，箱体的一组相对内侧面设有侧面卡位件，侧面卡位件设有多个侧面卡位槽，对硅片进行卡位。

进一步的，箱体两端开口，以使得分离托举装置沿着箱体轴线移动过程中，可从箱体一端的外部移动至箱体内部，并移动至箱体另一端的外部。

进一步的，两个侧面卡位件相对设置，且相对面上的多个侧面卡位槽一一对应。

进一步的，侧面卡位件包括基体，基体包括相连接的直壁部和承托部，承托部设于直壁部的一端，承托部与直壁部垂直设置。

进一步的，两个相对设置的侧面卡位件，相对应的直壁部之间的距离大于相对应的承托部之间的距离，以便对硅片进行承托。

进一步的，直壁部上的多个侧面卡位槽与承托部上的多个侧面卡位槽一一对应且相连通。

进一步的，分离托举装置包括分离托举驱动件以及与分离托举驱动件相连接的分离托举件，分离托举驱动件驱动分离托举件动作，进行上下移动。

进一步的，分离托举件设有至少两组分离卡位槽，多组分离卡位槽平行设置，且各组中的多个分离卡位槽一一对应，每一组中的多个分离卡位槽呈直线设置。

进一步的，分离托举件的尺寸小于相对设置的侧面卡位件之间的距离。

由于采用上述技术方案，该翻转单元用于硅片清洗过程中，对分离后的各组硅片进行翻转，将硅片由竖直状态翻转为水平状态，以便各组硅片进行下载，具有翻转装置和分离托举装置，分离托举装置结构分离后的一组硅片，对该组硅片进行承托，翻转装置具有相对设置的侧面卡位件，侧面卡位件上设有多个侧面卡位槽，翻转装置与分离托举装置相配合，分离托举装置接收硅片后，向下移动，在向下移动的过程中，硅片落入相对应的侧面卡位槽内，并对承托部的侧面卡位槽承托，硅片停留在翻转装置中，卡在相对应的侧面卡位槽内，翻转装置翻转，带动硅片翻转，实现硅片放置状态的改变，使得多组硅片清洗后，进行各组硅片翻转、下载，能够同时进行多组硅片清洗，提高硅片的清洗产能，分离后的各个上载载具进入干燥单元进行干燥，减少上载载具的滴水影响，避免上载口积水。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例的硅片清洗装置的结构示意图；

图2是本实用新型的一实施例的载具与硅片分离单元的俯视结构示意图；