[实用新型]一种硅片清洗用翻转单元

权利要求书

1.一种硅片清洗用翻转单元，其特征在于：包括翻转装置以及可沿着翻转装置的轴线移动的分离托举装置，分离后的一组硅片被放置于所述分离托举装置上，所述分离托举装置动作，该组硅片落在所述翻转装置内，所述翻转装置动作，对硅片进行翻转。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗用翻转单元，其特征在于：所述翻转装置包括箱体以及与箱体连接的旋转装置，所述旋转装置驱动所述箱体翻转，所述箱体的一组相对内侧面设有侧面卡位件，所述侧面卡位件设有多个侧面卡位槽，对硅片进行卡位。

3.根据权利要求2所述的硅片清洗用翻转单元，其特征在于：所述箱体两端开口，以使得所述分离托举装置沿着所述箱体轴线移动过程中，可从箱体一端的外部移动至箱体内部，并移动至箱体另一端的外部。

4.根据权利要求3所述的硅片清洗用翻转单元，其特征在于：两个所述侧面卡位件相对设置，且相对面上的多个所述侧面卡位槽一一对应。

5.根据权利要求2-4任一项所述的硅片清洗用翻转单元，其特征在于：所述侧面卡位件包括基体，所述基体包括相连接的直壁部和承托部，所述承托部设于所述直壁部的一端，所述承托部与所述直壁部垂直设置。

6.根据权利要求5所述的硅片清洗用翻转单元，其特征在于：两个相对设置的侧面卡位件，相对应的所述直壁部之间的距离大于相对应的所述承托部之间的距离，以便对硅片进行承托。

7.根据权利要求6所述的硅片清洗用翻转单元，其特征在于：所述直壁部上的多个侧面卡位槽与所述承托部上的多个侧面卡位槽一一对应且相连通。

8.根据权利要求2-4和6-7任一项所述的硅片清洗用翻转单元，其特征在于：所述分离托举装置包括分离托举驱动件以及与所述分离托举驱动件相连接的分离托举件，所述分离托举驱动件驱动所述分离托举件动作，进行上下移动。

9.根据权利要求8所述的硅片清洗用翻转单元，其特征在于：所述分离托举件设有至少两组分离卡位槽，多组所述分离卡位槽平行设置，且各组中的多个所述分离卡位槽一一对应，每一组中的多个分离卡位槽呈直线设置。

10.根据权利要求9所述的硅片清洗用翻转单元，其特征在于：所述分离托举件的尺寸小于相对设置的所述侧面卡位件之间的距离。