[发明专利]退火炉氢尾气回收装置

权利要求书

1.退火炉氢尾气回收装置，包括退火炉体（1）和输气管道（4），其特征在于，还包括：

三通自动调节阀（2），其设置在所述退火炉体（1）的上端，且三通自动调节阀（2）与退火炉体（1）连接为一体，所述退火炉体（1）的一侧设置有罗茨风机（3），所述罗茨风机（3）的一侧设置有第一缓冲罐（7）；

压缩机（8），其设置在所述第一缓冲罐（7）的一侧，所述压缩机（8）的一侧设置有精过滤器（9），所述精过滤器（9）的一侧设置有脱氧器（10），所述脱氧器（10）的一侧设置有净化脱水器（11），所述净化脱水器（11）的一侧设置有冷却器（26），所述冷却器（26）的一侧设置有第二缓冲罐（12），所述第二缓冲罐（12）的一端设置有氢气母管（13），且氢气母管（13）与第二缓冲罐（12）连接为一体，所述三通自动调节阀（2）、罗茨风机（3）、第一缓冲罐（7）、压缩机（8）、精过滤器（9）、脱氧器（10）、净化脱水器（11）、冷却器（26）和第二缓冲罐（12）之间通过输气管道（4）连接；

第一电磁阀（17），其设置在所述罗茨风机（3）与第一缓冲罐（7）之间的输气管道（4），且第一电磁阀（17）与输气管道（4）连接为一体；

回流管道（14），其设置在所述第一缓冲罐（7）与氢气母管（13）之间，且回流管道（14）的两端分别与第一缓冲罐（7）和氢气母管（13）连接为一体，所述回流管道（14）上设置有第三电磁阀（19），且第三电磁阀（19）与回流管道（14）连接为一体，所述氢气母管（13）上设置有第四电磁阀（20），且第四电磁阀（20）与氢气母管（13）连接为一体。

2.根据权利要求1所述的退火炉氢尾气回收装置，其特征在于：所述氢气母管（13）上设置有气体测试仪（21）、且气体测试仪（21）与氢气母管（13）连接为一体，所述气体测试仪（21）设置在回流管道（14）的一侧。

3.根据权利要求1所述的退火炉氢尾气回收装置，其特征在于：所述退火炉体（1）、第一缓冲罐（7）和第二缓冲罐（12）上均设置有气压传感器（6），且气压传感器（6）与退火炉体（1）、第一缓冲罐（7）和第二缓冲罐（12）连接为一体。

4.根据权利要求1所述的退火炉氢尾气回收装置，其特征在于：所述脱氧器（10）的内部设置有钯触媒组件（24），且钯触媒组件（24）与脱氧器（10）连接为一体，所述脱氧器（10）上设置有进气口（22）和出气口（23），且进气口（22）和出气口（23）设置在钯触媒组件（24）的上方和下方，所述进气口（22）和出气口（23）的内侧均设置有温度传感器（27），且温度传感器（27）与脱氧器（10）固定连接，所述脱氧器（10）的底部设置有电加热器（25），且电加热器（25）与脱氧器（10）固定连接。

5.根据权利要求1所述的退火炉氢尾气回收装置，其特征在于：所述第一电磁阀（17）的一侧设置有微量氧在线检测器（16），且微量氧在线检测器（16）与输气管道（4）连接为一体。

6.根据权利要求1所述的退火炉氢尾气回收装置，其特征在于：所述三通自动调节阀（2）的上方设置有长明火炬（5），且长明火炬（5）与三通自动调节阀（2）连接为一体。

7.根据权利要求1所述的退火炉氢尾气回收装置，其特征在于：所述第一电磁阀（17）与第一缓冲罐（7）之间设置有放空管道（15），且放空管道（15）与输气管道（4）连接为一体，所述放空管道（15）上设置有第二电磁阀（18），且第二电磁阀（18）与放空管道（15）连接为一体。

8.根据权利要求1所述的退火炉氢尾气回收装置，其特征在于：所述精过滤器（9）采用精过滤工艺，且精过滤器（9）采用凝结分离和渗透分离相结合的方式，所述净化脱水器（11）设置有变压吸附装置，所述变压吸附装置由六个吸附塔组成，且六个吸附塔循环工作。