[发明专利]一种扩晶设备及扩晶方法

说明书

本发明涉及一种扩晶设备及扩晶方法，包括底板架、矩形框架和扩晶模块，所述底板架上端中部安装有矩形框架，矩形框架前端设置有开口，矩形框架内壁上均匀设置有离子风机，矩形框架中部安装有扩晶模块。本发明中设置了内扩晶环和外扩晶环，内扩晶环和外扩晶环之间相互配合卡紧，使得蓝膜可以准确的卡接在外扩晶环与内扩晶环之间的缝隙内，避免蓝膜发生滑动的现象，提高蓝膜与外扩晶环和内扩晶环之间的摩擦力。

技术领域

本申请涉及晶元扩晶技术领域，特别是涉及一种扩晶设备及扩晶方法。

背景技术

LED晶片在划片后会形成阵列排布于蓝膜上的晶元，由于晶元排列的十分紧密，因此不利于后续对晶元进行测试和分选。为解决这一问题，目前通常会在对晶元进行测试和分选的步骤之前，增加一道扩晶工序，具体为采用扩晶机对贴附有晶元的蓝膜进行扩膜，使得晶元之间的间距扩大。

目前，现有的扩晶设备在使用过程中，通常存在以下缺陷：1、现有的扩晶设备在使用时，外环在上料时，外环通常是自下而上的上料，上料效果差、使用不方便，影响设备的扩晶效果；2、有的扩晶设备在使用时，内环和外环的压合效果差，由于蓝膜扩展力度较大，使得内外环出现卡不住蓝膜的现象，影响后续使用效果；基于此，在现有的扩晶设备的基础之上，还有可改进的空间。

发明内容

为了能够将承载晶元的蓝膜通过圆形扩晶环结构的内环和外环压合起来，本申请提供一种扩晶设备。

本申请提供的一种扩晶设备采用如下的技术方案：

一种扩晶设备，包括底板架、矩形框架和扩晶模块，所述底板架上端中部安装有矩形框架，矩形框架前端设置有开口，矩形框架内壁上均匀设置有离子风机，矩形框架中部安装有扩晶模块。

所述扩晶模块包括工作台、导料单元、顶料单元、安装架、压紧板、连接架和压料单元，所述底板架上安装有工作台，工作台上端安装有导料单元，工作台中部设置有环形槽，环形槽内对称安装有顶料单元，工作台上端对称安装有安装架，安装架呈U型结构，安装架下端之间安装有压紧板，安装架上端中部安装有连接架，连接架之间安装有压料单元。

所述顶料单元包括转动杆、滑块、铰接架、顶料板和内扩晶环，所述环形槽内通过轴承安装有转动杆，转动杆上对称设置有外螺纹，两段外螺纹的开设方向相反，每段外螺纹上通过螺纹配合的方式连接有滑块，滑块上端通过销轴安装有铰接架，铰接架呈十字交叉形结构，铰接架上端之间通过销轴安装有顶料板，顶料板上端设置有安装槽，安装槽内设置有内扩晶环。

所述压料单元包括滑动架、导轨、驱动气缸、翻料组件、连接板、压料架和外扩晶环，所述连接架中部为空心结构，连接架内部对称安装有导轨，导轨之间滑动设置有滑动架，滑动架上端与连接架之间安装有驱动气缸，滑动架之间设置有连接板，滑动架中部安装有翻料组件，翻料组件之间安装有连接板，连接板上端中部安装有压料架，压料架上端中部安装有外扩晶环。

优选的，所述导料单元包括放料辊、导料辊和收料辊，所述工作台上对称安装有卡槽，位于工作台左侧的卡槽内通过螺钉安装有放料辊，位于工作台右侧的卡槽内通过螺钉安装有收料辊，工作台上端面对称安装有导料辊，放料辊上缠绕有蓝膜，蓝膜经导料辊上端与收料辊相连接。

通过采用上述技术方案，放料辊上缠绕的蓝膜经导料辊后与收料辊相连接，使得蓝膜可以准确的覆盖在工作台上端面上，当扩晶模块工作完毕后，收料辊带动蓝膜废料进行收卷，使得新的蓝膜重新覆盖在工作台上，利于蓝膜的连续性扩晶加工。

优选的，所述内扩晶环呈圆环形结构，内扩晶环为柔性材质，内扩晶环外侧中部设置有光滑的环形凸起，环形凸起外侧面上均匀设置有防滑槽。

通过采用上述技术方案，环形凸起可以起到压紧的作用，使得蓝膜可以准确的卡接在外扩晶环与内扩晶环之间的缝隙内，避免蓝膜发生滑动的现象，提高蓝膜与外扩晶环和内扩晶环之间的摩擦力。

优选的，所述环形凸起与内扩晶环外侧面之间设置有向内倾斜的压紧槽。