[发明专利]一种扩晶设备及扩晶方法在审

专利信息
申请号: 202310503201.2 申请日: 2023-05-06
公开(公告)号: CN116631905A 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 孙勇;肖海苹;徐志刚 申请(专利权)人: 深圳市博辉特科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B65H18/10
代理公司: 北京科创易佰知识产权代理事务所(普通合伙) 16113 代理人: 刘珍
地址: 518000 广东省深圳市龙华区观*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 设备 方法
【权利要求书】:

1.一种扩晶设备,包括底板架(1)、矩形框架(2)和扩晶模块(3),其特征在于,所述底板架(1)上端中部安装有矩形框架(2),矩形框架(2)前端设置有开口,矩形框架(2)内壁上均匀设置有离子风机,矩形框架(2)中部安装有扩晶模块(3),其中:

所述扩晶模块(3)包括工作台(31)、导料单元(32)、顶料单元(33)、安装架(34)、压紧板(35)、连接架(36)和压料单元(37),所述底板架(1)上安装有工作台(31),工作台(31)上端安装有导料单元(32),工作台(31)中部设置有环形槽,环形槽内对称安装有顶料单元(33),工作台(31)上端对称安装有安装架(34),安装架(34)呈U型结构,安装架(34)下端之间安装有压紧板(35),安装架(34)上端中部安装有连接架(36),连接架(36)之间安装有压料单元(37);

所述顶料单元(33)包括转动杆(331)、滑块(332)、铰接架(333)、顶料板(334)和内扩晶环(335),所述环形槽内通过轴承安装有转动杆(331),转动杆(331)上对称设置有外螺纹,两段外螺纹的开设方向相反,每段外螺纹上通过螺纹配合的方式连接有滑块(332),滑块(332)上端通过销轴安装有铰接架(333),铰接架(333)呈十字交叉形结构,铰接架(333)上端之间通过销轴安装有顶料板(334),顶料板(334)上端设置有安装槽,安装槽内设置有内扩晶环(335);

所述压料单元(37)包括滑动架(371)、导轨(372)、驱动气缸(373)、翻料组件(374)、连接板(375)、压料架(376)和外扩晶环(377),所述连接架(36)中部为空心结构,连接架(36)内部对称安装有导轨(372),导轨(372)之间滑动设置有滑动架(371),滑动架(371)上端与连接架(36)之间安装有驱动气缸(373),滑动架(371)之间设置有连接板(375),滑动架(371)中部安装有翻料组件(374),翻料组件(374)之间安装有连接板(375),连接板(375)上端中部安装有压料架(376),压料架(376)上端中部安装有外扩晶环(377)。

2.根据权利要求1所述的一种扩晶设备,其特征在于:所述导料单元(32)包括放料辊(321)、导料辊(322)和收料辊(323),所述工作台(31)上对称安装有卡槽,位于工作台(31)左侧的卡槽内通过螺钉安装有放料辊(321),位于工作台(31)右侧的卡槽内通过螺钉安装有收料辊(323),工作台(31)上端面对称安装有导料辊(322),放料辊(321)上缠绕有蓝膜,蓝膜经导料辊(322)上端与收料辊(323)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种扩晶设备,其特征在于:所述内扩晶环(335)呈圆环形结构,内扩晶环(335)为柔性材质,内扩晶环(335)外侧中部设置有光滑的环形凸起(3351),环形凸起(3351)外侧面上均匀设置有防滑槽。

4.根据权利要求3所述的一种扩晶设备,其特征在于:所述环形凸起(3351)与内扩晶环(335)外侧面之间设置有向内倾斜的压紧槽(3352)。

5.根据权利要求1所述的一种扩晶设备,其特征在于:所述压紧板(35)呈矩形结构,压紧板(35)中部设置有环形通槽,压紧板(35)下端设置有环形压板(351),压紧板(35)下端面设置有切割槽,切割槽内安装有环形刀架(352),环形刀架(352)内侧与环形压板(351)外侧紧贴。

6.根据权利要求1所述的一种扩晶设备,其特征在于:所述翻料组件(374)包括转动轴(3741)、转动齿轮(3742)和齿条板(3743),所述滑动架(371)中部通过轴承安装有转动轴(3741),转动轴(3741)内侧与连接板(375)相连接,转动轴(3741)外侧安装有转动齿轮(3742),转动齿轮(3742)啮合有齿条板(3743),齿条板(3743)安装在滑动架(371中部内壁上。

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