[发明专利]一种碱性蚀刻液回收方法和回收系统

权利要求书

1.一种碱性蚀刻液回收方法，其特征在于，包括下列步骤：

S1、将蚀刻液废液进行萃取；

S2、向萃取后的水相溶液中加入蚀刻盐和氨水再生成蚀刻液原液，并采用洗氨液对萃取后的油相溶液进行水洗，并将水洗后的油相溶液进行反萃；

S3、将S2中反萃后的油相溶液进行二次水洗，以去除其中的硫，从而得到再生萃取剂；

S4、将S3中水洗后的水相洗氨溶液进行再生水洗，再生成洗氨液；

S5、将S2中反萃后的水相溶液进行电解，在阴极回收铜，将电解后的电解溶液再生成反萃剂。

2.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液回收方法，其特征在于，在S2中，采用含H2SO4的硫酸铜电解液对水洗后的油相溶液进行反萃。

3.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液回收方法，其特征在于，在S2中，在向萃取后的水相溶液中加入蚀刻盐和氨水之前，对所述水相溶液进行取样分析。

4.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液回收方法，其特征在于，在向萃取后的水相溶液中加入蚀刻盐和氨水之前，对所述水相溶液进行隔油。

5.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液回收方法，其特征在于，在S5中，在电解之前，对所述反萃后的水相溶液进行隔油。

6.一种用于实现权利要求1-5任一项所述的碱性蚀刻液回收方法的回收系统，其特征在于，包括：废液槽、萃取槽、第一水洗槽、反萃槽、第二水洗槽和电解槽；

废液槽用于存放蚀刻液废液；

萃取槽与废液槽连通，萃取槽用于对蚀刻液废液进行萃取；

第一水洗槽与萃取槽连通，第一水洗槽用于对萃取后的油相溶液进行洗氨；

反萃槽与第一水洗槽连通，反萃槽用于对洗氨后的油相溶液进行反萃；

第二水洗槽与反萃槽连通，第二水洗槽用于对反萃后的油相溶液进行二次水洗；

电解槽用于对反萃后的水相溶液进行电解，且电解槽的出液口与反萃槽的回收进口连通。

7.根据权利要求6所述的碱性蚀刻液回收系统，其特征在于，还包括萃取剂缸，萃取剂缸用于存放萃取剂，萃取剂缸分别与第二水洗槽的出口和萃取槽的进口连通。

8.根据权利要求6所述的碱性蚀刻液回收系统，其特征在于，还包括水洗缸，水洗缸的进口与第二水洗槽的出口连通，水洗缸的出口与第一水洗槽的回收进口连通，水洗缸用于对第一水洗槽水洗后的水相洗氨溶液进行再生水洗。

9.根据权利要求6所述的碱性蚀刻液回收系统，其特征在于，还包括废气处理塔，废气处理塔用于对电解尾气进行处理。