[发明专利]一种信息组件及晶圆盒

说明书

本申请公开了一种信息组件及晶圆盒，信息组件应用于晶圆盒，晶圆盒包括盒体，信息组件包括：主体以及限位结构，主体具有第一端以及与第一端相对设置的第二端，第一端以及第二端均用于与晶圆盒的盒体连接；主体上设置有位于第一端以及第二端之间的限位结构，限位结构用于与盒体连接。本申请实施例通过增加信息组件的主体与盒体之间的连接部位，以加强信息组件与盒体之间的连接，使得信息组件与盒体之间的固定更牢固，从而增加信息组件的稳定性，防止信息组件在外力的按压或冲击下发生晃动或移位，减少外部设备与信息组件之间发生信息互换错误的问题。

技术领域

本申请涉及晶圆存储技术领域，尤其涉及一种信息组件及晶圆盒。

背景技术

晶圆作为芯片的制作基础，在生产时对晶圆的存储和转运都具有较高的要求，所以一般通过晶圆转运箱来存储晶圆，以保证晶圆在转运过程中的清洁。在相关技术中，晶圆转运箱中可以存储多种规格的晶圆片，为了让外部设备在不打开晶圆转运箱的前提下，识别箱体中晶圆的型号和材质等相关信息，通常在晶圆转运箱上安装存储晶圆信息的信息组件，但是信息组件一般是通过端部与晶圆转运箱固定，在外力的冲击下可能会使得信息组件发生晃动或移位，从而导致信息组件与外部设备之间发生信息互换错误的问题。

发明内容

本申请实施例提供了一种信息组件及晶圆盒，能够使得信息组件与晶圆盒的盒体之间固定更牢固，加强信息组件在晶圆盒上的稳定性。

本申请实施例提供了一种信息组件，应用于晶圆盒，晶圆盒包括盒体，信息组件包括：主体以及限位结构，主体具有第一端以及与第一端相对设置的第二端，第一端以及第二端均用于与晶圆盒的盒体连接，主体包括传感器，传感器用于存储晶圆信息；主体上设置有位于第一端以及第二端之间的限位结构，限位结构用于与盒体连接。

在本申请一些实施例中，限位结构包括：安装部和第一插槽，安装部用于与盒体连接；第一插槽开设于主体，第一插槽沿第一预设方向延伸，主体的边缘具有供安装部出入第一插槽的槽口，安装部沿第一预设方向从槽口插入第一插槽中。安装部插入第一插槽中，此时安装部与第一插槽之间的配合可以限制主体在盒体上的移动，加强主体与盒体之间的连接。

在本申请一些实施例中，第一插槽的槽壁包括第一侧壁以及第二侧壁，第一侧壁与槽口相对设置，第二侧壁位于第一侧壁的侧方。安装部的周侧面包括与第二侧壁相对的第一侧面，第一侧面上设置有沿第一预设方向延伸的第二插槽，在第二插槽中沿垂直于第一预设方向设置有挡板。限位结构还包括设置于第二侧壁的第一限位件，第一限位件位于第二插槽中，第一限位件位于挡板靠近槽口的一侧，且与挡板触接。安装部的周侧面触接到第一插槽的第一侧壁时，第一限位件插入第二插槽中，且第一限位件在挡板与槽口之间，第一限位件与挡板触接，此时的第一限位件限制了安装部脱离第一插槽，从而可以更好地将安装部固定在第一插槽中。

在本申请一些实施例中，第一限位件具有导向斜面，导向斜面的一端与第二侧壁连接，且导向斜面的另一端向远离槽口的方向倾斜延伸，导向斜面用于供挡板沿第二侧壁滑动到第一限位件处。导向斜面为挡板的继续滑动起导向作用，使得挡板能够顺利地沿导向斜面滑动到第一限位件处。

在本申请一些实施例中，主体为弹性主体。第一插槽中靠近槽口的槽侧壁可以发生形变，从而第一插槽中的挡板可以更容易地滑动经过第一限位件，由此使得安装部与第一插槽的安装和拆卸变得更容易。

在本申请一些实施例中，限位结构还包括设置于第二侧壁的第二限位件，第二限位件位于第一限位件远离槽口的一侧，第二限位件沿第一预设方向插入第二插槽，并与第二插槽的槽侧壁触接。第二限位件与第一限位件共同作用，使得主体与安装部之间的配合更牢固更稳定，降低主体发生晃动的可能性。

在本申请一些实施例中，盒体上设置有凸台，第一端以及第二端上均设置有固定结构，固定结构用于与盒体连接，且固定结构具有限位孔，限位孔用于供凸台沿第一预设方向插入，使得主体与盒体之间被固定，以减少主体在盒体上发生晃动的情况。