[发明专利]一种信息组件及晶圆盒在审
| 申请号: | 202310491039.7 | 申请日: | 2023-05-04 |
| 公开(公告)号: | CN116544142A | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
| 发明(设计)人: | 禹在昌;张亮 | 申请(专利权)人: | 北京鑫跃微半导体技术有限公司;芜湖鑫跃微半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人: | 肖建华 |
| 地址: | 100020 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 信息 组件 晶圆盒 | ||
1.一种信息组件,其特征在于,应用于晶圆盒,所述晶圆盒包括盒体,所述信息组件包括:
主体,具有第一端以及与所述第一端相对设置的第二端,所述第一端以及所述第二端均用于与所述盒体连接,所述主体包括传感器,所述传感器用于存储晶圆信息;
其中,所述主体上设置有位于所述第一端以及所述第二端之间的限位结构,所述限位结构用于与所述盒体连接。
2.根据权利要求1所述的信息组件,其特征在于,所述限位结构包括:
安装部,所述安装部用于与所述盒体连接;
开设于所述主体上的第一插槽,所述第一插槽沿第一预设方向延伸,所述主体的边缘具有供所述安装部出入所述第一插槽的槽口,所述安装部沿所述第一预设方向从所述槽口插入所述第一插槽中。
3.根据权利要求2所述的信息组件,其特征在于,所述第一插槽的槽壁包括第一侧壁以及第二侧壁,所述第一侧壁与所述槽口相对设置,所述第二侧壁位于所述第一侧壁的侧方;
所述安装部的周侧面包括与所述第二侧壁相对的第一侧面,所述第一侧面上设置有沿所述第一预设方向延伸的第二插槽,在所述第二插槽中沿垂直于所述第一预设方向设置有挡板;
所述限位结构还包括设置于所述第二侧壁的第一限位件,所述第一限位件插入所述第二插槽中,所述第一限位件位于所述挡板靠近所述槽口的一侧,且与所述挡板触接。
4.根据权利要求3所述的信息组件,其特征在于,所述第一限位件具有导向斜面,所述导向斜面的一端与所述第二侧壁连接,且所述导向斜面的另一端向远离所述槽口的方向倾斜延伸,所述导向斜面用于供所述挡板沿所述第二侧壁滑动到所述第一限位件处。
5.根据权利要求3所述的信息组件,其特征在于,所述主体为弹性主体。
6.根据权利要求3所述的信息组件,其特征在于,所述限位结构还包括设置于所述第二侧壁的第二限位件,所述第二限位件位于所述第一限位件远离所述槽口的一侧,所述第二限位件沿所述第一预设方向插入所述第二插槽,并与所述第二插槽的槽侧壁触接。
7.根据权利要求1所述的信息组件,其特征在于,所述盒体上设置有凸台;所述第一端以及所述第二端上均设置有固定结构,所述固定结构用于与所述盒体连接,且所述固定结构具有限位孔,所述限位孔用于供所述凸台沿第一预设方向插入。
8.根据权利要求7所述的信息组件,其特征在于,所述固定结构还具有导向槽,所述导向槽从所述固定结构的边缘处沿所述第一预设方向延伸到所述限位孔,所述导向槽用于供所述凸台从所述固定结构的边缘处滑动到所述限位孔中。
9.根据权利要求8所述的信息组件,其特征在于,所述导向槽的槽壁为圆弧形槽壁。
10.一种晶圆盒,其特征在于,包括盒体以及如权利要求1-9中任一项所述的信息组件,所述信息组件安装于所述盒体,且所述主体与所述盒体间隔设置。
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