[发明专利]一种固晶机接驳平台在审
| 申请号: | 202310469940.4 | 申请日: | 2023-04-25 |
| 公开(公告)号: | CN116469818A | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
| 发明(设计)人: | 汪金虎;陈周权;王申申;万傲梅;向红珍 | 申请(专利权)人: | 深圳市万福达智能装备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人: | 苗广冬 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 固晶机 接驳 平台 | ||
1.一种固晶机接驳平台,用于固晶机,其特征在于,所述固晶机接驳平台包括:
传送结构,设于所述固晶机的工作台面上,所述传送结构与所述固晶机的固晶作业平台沿第一方向设置,且所述传送结构与所述固晶作业平台对位,所述传送结构具有一输送平面,所述输送平面能够沿第一方向输送基板;以及,
暂存结构,具有多个层叠设置的暂存部,各所述暂存部均能够沿上下向运动至所述输送平面上方或所述输送平面下方,以使得各所述暂存部均能够向上移动并托举所述输送平面上的所述基板至所述输送平面上方,或使得各所述暂存部均能够向下移动并将各所述暂存部上的所述基板移动至所述输送平面。
2.如权利要求1所述的固晶机接驳平台,其特征在于,所述传送结构包括:
两个支撑侧板,沿第一方向平行设置;以及,
两个传送部,分别设于两个所述支撑侧板的相对的两个侧面上,并沿第一方向延展,两个所述传送部形成所述输送平面。
3.如权利要求2所述的固晶机接驳平台,其特征在于,所述传送结构还包括两个动力结构,两个所述动力结构分别设于两个所述支撑侧板上,各所述动力结构包括:
第一电机,设于对应的所述支撑侧板的外侧,所述第一电机的传动轴穿过所述支撑侧板并延伸至所述支撑侧板的内侧;
第一传动结构,设于所述支撑侧板的内侧,所述第一传动结构包括主动轮、多个第一从动轮和第一传送带,所述主动轮与所述第一电机的传动轴驱动连接,所述第一传送带圈设于所述主动轮和多个所述第一从动轮上;
第二传动结构,包括多个第二从动轮、多个随动轮和多个第二传送带,多个所述第二从动轮沿第一方向设于所述支撑侧板的外侧,多个所述随动轮沿第一方向设于所述支撑侧板的内侧,多个所述随动轮分别与多个所述第二从动轮对应并传动连接,靠近所述第一电机的所述第二从动轮与其中一个所述第一从动轮对应且驱动连接,相邻的两个所述第二从动轮上套设有所述第二传送带;以及,
第三传动结构,包括多个第三从动轮和第三传送带,多个所述第三从动轮沿第一方向设于所述支撑侧板的内侧,其中一个所述第三从动轮与靠近所述固晶作业平台的所述第二从动轮驱动连接,多个所述第三从动轮上套设有所述第三传送带;
其中,所述传送部包括所述第一传送带、多个所述随动轮和所述第三传送带。
4.如权利要求2所述的固晶机接驳平台,其特征在于,所述暂存结构包括两个升降结构,分别设于两个所述支撑侧板的外侧,各所述升降结构均包括:
驱动结构,设于对应的所述支撑侧板的外侧;
安装座,与所述驱动结构驱动连接,以使得所述安装座能够沿上下向运动,所述安装座位于所述输送平面的上方;以及,
多个卡槽板,沿第一方向设于所述安装座的底侧,且多个所述卡槽板均竖直设置,各所述卡槽板朝向所述输送平面的一侧自上而下设有多个卡块,两个所述安装座的多个所述卡槽板上的各个高度的多个所述卡块形成多个所述暂存部。
5.如权利要求4所述的固晶机接驳平台,其特征在于,各所述驱动结构均包括:
第二电机,设于对应的所述支撑侧板的外侧;以及,
升降丝杆,竖直设置,且与所述第二电机的转动轴驱动连接;
各所述驱动结构对应的所述安装座上开设有螺纹孔,所述螺纹孔与所述升降丝杆螺纹连接。
6.如权利要求4所述的固晶机接驳平台,其特征在于,各所述支撑侧板内侧均开设有多个凹槽,多个所述凹槽与对应的多个所述卡槽板对应,各所述卡槽板能够向下移动并局部嵌入对应的所述凹槽中。
7.如权利要求1所述的固晶机接驳平台,其特征在于,所述固晶机具有多个所述固晶作业平台,多个所述固晶作业平台沿第二方向排列设置;
所述固晶接驳平台还包括:
平移结构,设于所述固晶机的工作台面上,所述平移结构具有一平移部,所述传送结构设于所述平移部上,所述平移部能够沿第二方向移动,以使所述传送结构能够与各所述固晶作业平台对位;
其中,所述第一方向和所述第二方向在水平面上垂直设置。
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