[发明专利]一种压力接触式薄膜材料样品加载装置及其测试方法

权利要求书

1.一种压力接触式薄膜材料样品加载装置，其特征在于，包括样品腔(1)、热电偶(2)、套管(3)和动杆(4)，所述样品腔(1)包括样品腔开口(11)、激光入射孔(12)和样品腔下方孔(13)，所述样品腔开口(11)设置在样品腔(1)的前侧壁上，所述激光入射孔(12)和样品腔下方孔(13)同轴设置在样品腔(1)的顶壁和底壁上；

所述套管(3)的顶部设有套管开孔(31)，所述热电偶(2)的探头和偶丝从套管开孔(31)中穿出并露出于套管(3)外部，所述套管(3)的顶部从样品腔下方管(13)垂直进入样品腔(1)内，并与薄膜材料样品的基底背面压力接触，激光从激光入射孔(12)入射到薄膜材料样品的表面；

所述套管(3)设置在动杆(4)内的贯通孔腔体中，所述动杆(4)上设有可固定套管(3)的动杆顶丝(41)。

2.根据权利要求1所述的一种压力接触式薄膜材料样品加载装置，其特征在于，所述加载装置还包括支撑装置，所述支撑装置包括左支撑杆(5)、右支撑杆(6)和支撑台(7)，所述左支撑杆(5)和右支撑杆(6)的顶端分别与样品腔(1)的底壁固定连接，所述支撑台(7)上设有支撑台两侧通孔(72)和支撑台中心通孔(73)，所述左支撑杆(5)和右支撑杆(6)分别从支撑台两侧通孔(72)穿过，所述动杆(4)从支撑台中心通孔(73)穿过。

3.根据权利要求2所述的一种压力接触式薄膜材料样品加载装置，其特征在于，所述支撑台(7)上分别设有可固定动杆(4)的支撑台顶丝(71)、可固定左支撑杆(5)的左支撑杆顶丝(51)和可固定右支撑杆(6)的右支撑杆顶丝(61)。

4.根据权利要求3所述的一种压力接触式薄膜材料样品加载装置，其特征在于，所述动杆(4)的外侧壁上设有刻度。

5.根据权利要求4所述的一种压力接触式薄膜材料样品加载装置，其特征在于，所述左支撑杆(5)和右支撑杆(6)均包括支撑杆上段和支撑杆下段，所述支撑台两侧通孔(72)的内径与支撑杆上段外径相同且小于支撑杆下段外径。

6.根据权利要求5所述的一种压力接触式薄膜材料样品加载装置，其特征在于，所述加载装置还包括底座(9)，所述底座(9)上设有底座两侧通孔(91)和底座中心通孔(92)，所述左支撑杆(5)和右支撑杆(6)的底端分别与底座两侧通孔(91)螺接固定，所述套管(3)的底端从底座中心通孔(92)穿过。

7.根据权利要求6所述的一种压力接触式薄膜材料样品加载装置，其特征在于，所述支撑台(7)和底座(9)之间设有隔热盘(8)，所述隔热盘(8)上设有隔热盘两侧通孔(81)和隔热盘中心通孔(82)，所述左支撑杆(5)和右支撑杆(6)分别从隔热盘两侧通孔(81)穿过，所述套管(3)从隔热盘中心通孔(82)穿过。

8.根据权利要求1-7任一权利要求所述的一种压力接触式薄膜材料样品加载装置的测试方法，其特征在于，所述测试方法包括以下步骤：

步骤一，薄膜材料样品经样品腔开口(11)水平放置于样品腔(1)内，套管(3)放置于动杆(4)内的贯通孔腔体中，套管(3)可相对于动杆(4)垂直上下移动并由动杆顶丝(41)固定；

步骤二，动杆(4)放置于支撑台(7)的支撑台中心通孔(73)中，通过动杆(4)外侧壁的刻度确定其与支撑台(7)的相对位置，动杆(4)可垂直相对于支撑台(7)上下移动并由支撑台顶丝(71)固定；

步骤三，热电偶(2)连同套管(3)经样品腔下方孔(13)垂直上移至薄膜材料样品基底背面并将其压紧至激光入射孔(12)处，热电偶(2)经动杆顶丝(41)和支撑台顶丝(71)固定保持不动，热电偶(2)与薄膜材料样品之间具有一定接触压力，激光可由激光入射孔(12)入射至薄膜材料样品表面，对其进行反射光功率的测试。