[发明专利]芯片取放机构和芯片测试机在审
| 申请号: | 202310359739.0 | 申请日: | 2023-04-06 |
| 公开(公告)号: | CN116344432A | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
| 发明(设计)人: | 赵山;廉哲;吴永红;黄建军 | 申请(专利权)人: | 苏州联讯仪器股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/66 |
| 代理公司: | 苏州科旭知识产权代理事务所(普通合伙) 32697 | 代理人: | 王健 |
| 地址: | 215007 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 机构 测试 | ||
1.一种芯片取放机构,包括:本体(1)和安装于本体(1)上的吸嘴杆(2),所述本体(1)上方设置有一夹持条(3),该夹持条(3)的前端向外伸出本体(1)并与吸嘴杆(2)的上端夹持连接,所述本体(1)的前端面上并位于吸嘴杆(2)两侧设置有导向组件,其特征在于:所述夹持条(3)的后端与一弧形齿条(14)连接,该弧形齿条(14)与安装于电机(13)输出轴上的齿轮(16)啮合连接,且所述弧形齿条(14)的圆心与吸嘴杆(2)的轴心重叠;
所述夹持条(3)与本体(1)一侧的下部之间连接有一竖直设置的第一弹簧(41),所述夹持条(3)与本体(1)另一侧的上部之间连接有一与水平方向呈倾斜设置的第二弹簧(42),该第二弹簧(42)一端靠近弧形齿条(14)并位于弧形齿条(14)的下方,另一端连接到夹持条(3)远离弧形齿条(14)的一端,所述第二弹簧(42)与夹持条(3)连接的一端高于其另一端,所述第二弹簧(42)的拉力大于第一弹簧(41)的拉力;
所述本体(1)的前端面上开设有一安装孔(5),一水平设置的压持座(6)的一端嵌入所述安装孔(5)内,所述压持座(6)的另一端位于本体(1)外侧并竖直安装有一压持轴承(61),所述压持座(6)上表面并位于压持轴承(61)与本体(1)之间开设有一供竖直设置的吸嘴杆(2)穿过的通孔(62),所述压持座(6)位于安装孔(5)内的一端与本体(1)之间通过一处于拉伸状态的压持弹簧(7)连接,使得压持轴承(61)的外圈表面与吸嘴杆(2)紧密贴合,所述压持弹簧(7)的拉力大于第一弹簧(41)的拉力。
2.根据权利要求1所述的芯片取放机构,其特征在于:所述压持座(6)内、本体(1)内各安装有一销钉(9),所述压持弹簧(7)两端的挂钩部各自与对应的销钉(9)扣接连接。
3.根据权利要求1所述的芯片取放机构,其特征在于:所述夹持条(3)的后端与弧形齿条(14)通过一连杆(15)连接。
4.根据权利要求1所述的芯片取放机构,其特征在于:所述导向组件包括至少两对轴承。
5.根据权利要求4所述的芯片取放机构,其特征在于:所述本体(1)前端面上具有至少2个沿竖直方向间隔设置的凸块,每个所述凸块上安装有一对轴承,每对轴承中的左轴承(11)水平安装于凸块左侧,每对轴承中的右轴承(12)水平安装于凸块右侧。
6.根据权利要求4所述的芯片取放机构,其特征在于:所述本体(1)前端面上的左右侧分别具有左斜面区和右斜面区,每对轴承中的左轴承(11)沿竖直方向间隔地设置于本体(1)的左斜面区上,每对轴承中的右轴承(12)沿竖直方向间隔地设置于本体(1)的右斜面区上。
7.根据权利要求4所述的芯片取放机构,其特征在于:每对轴承中左轴承(11)、右轴承(12)之间形成一夹持通道(10),所述吸嘴杆(2)位于该夹持通道(10)内。
8.一种芯片的测试机,包括:基板(100)和安装于基板(100)上的测试机构(200)、上料机构(300),所述上料机构(300)上方设置有一垂直于上料机构(300)的上料方向设置的运料机构(400),其特征在于:所述运料机构(400)上通过一转接座(401)安装有如权利要求1~7中任意一项所述的芯片取放机构。
9.根据权利要求8所述的芯片的测试机,其特征在于:所述电机(13)安装于转接座(401)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





