[发明专利]一种填胶装置在审
申请号: | 202310326784.6 | 申请日: | 2023-03-30 |
公开(公告)号: | CN116371676A | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 刘兵海;张兮;华佑南;李晓旻 | 申请(专利权)人: | 胜科纳米(苏州)股份有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10;B05C13/02;H01L21/67 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 李彩玲 |
地址: | 215124 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
1.一种填胶装置,其特征在于,包括密封主体、密封盖、导管、真空泵、样品台组件和胶体容器;
所述密封主体具有中空腔体,所述密封盖与所述密封主体密封连接,以密封所述中空腔体;
所述导管的一端与所述中空腔体连通,所述导管的另一端与所述真空泵连接,所述真空泵用于在所述中空腔体内形成负压;
所述胶体容器位于所述中空腔体内,用于容纳胶体;
所述样品台组件包括样品载台和摇杆,所述样品载台位于所述中空腔体内部,且所述样品载台位于所述胶体容器上方,所述样品载台用于承载待填胶样品;
所述摇杆与所述密封主体的侧壁可转动连接,所述摇杆的一端与所述样品载台固定连接,所述摇杆的另一端延伸至所述密封主体的外部。
2.根据权利要求1所述的填胶装置,其特征在于,
所述样品台组件包括第一样品台组件和第二样品台组件;
所述第一样品台组件的所述样品载台与所述第二样品台组件的所述样品载台沿第一方向排列;所述第一方向平行于水平方向,且所述第一方向垂直于所述摇杆的延伸方向。
3.根据权利要求2所述的填胶装置,其特征在于,
所述第一样品台组件的所述摇杆与所述第二样品台组件的所述摇杆分别位于所述样品载台的相对两侧。
4.根据权利要求1所述的填胶装置,其特征在于,
所述样品载台上设置有加热组件,所述加热组件用于加热所述待填胶样品。
5.根据权利要求1所述的填胶装置,其特征在于,
所述填胶装置还包括泄压阀门,所述泄压阀门用于对所述中空腔体进行泄压。
6.根据权利要求1所述的填胶装置,其特征在于,
所述导管上设置有真空阀门,所述真空阀门用于控制所述中空腔体和所述真空泵之间连通或关断。
7.根据权利要求1所述的填胶装置,其特征在于,
所述导管上设置有多孔过滤器。
8.根据权利要求1所述的填胶装置,其特征在于,
所述导管包括第一导管分部和第二导管分部,所述第一导管分部和所述第二导管分部之间通过软管连接。
9.根据权利要求1所述的填胶装置,其特征在于,
所述密封主体为透明密封主体。
10.根据权利要求1所述的填胶装置,其特征在于,
所述胶体容器为玻璃容器。
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