[发明专利]一种精密金属掩模板条的制作方法

说明书

本发明公开一种精密金属掩模板条的制作方法，包括选取金属箔材→表面清洗→金属箔材图案加工→裁切→检测，其中，选取的金属箔材为高平整度的金属箔材，所述金属箔材经压延工艺制备而成且具备如下性能：沿压延方向伸长量极差≤130μm，沿横向伸长量极差≤11μm，中央区宽幅占比≥10％。在本发明中，使用高平整度的金属箔材所制得的金属掩模板条良品率高，有利于节省原料成本。

技术领域

本发明涉及金属掩模板制备领域，尤其涉及一种良率高的精密金属掩模板条的制作方法。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Diode)为有机发光二极管，相对于液晶显示器具有重量巧、视角广、响应时间快、耐低温和发光效率高等优点，被视为下一代新型显示技术。一般采用真空热蒸镀技术制备有机电致发光薄膜器件，即在真空环境中加热有机半导体材料，材料受热升华，通过具有特殊子画素图案的金属掩模板在基板表面形成具有所设计形状的有机薄膜器件叠构，经历多种材料的连续沉积成膜，加上在叠构的两端各镀上阳极及阴极，即可形成具有多层薄膜的OLED发光器件结构，而制作OLED发光器件中的关键部件为用金属箔材制作而成的精密金属掩模板(FMM)。

目前，精密型掩模板有三种制作方法：1.蚀刻法精密掩模板；2.电铸法精密掩模板；3.不需张网的混合型精密掩模板。蚀刻法精密金属掩模板(Fine Metal Mask，FMM)是目前使用最为广泛，蚀刻法金属掩模板是采用熔炼之后的金属板材，经过多段的传统热压延,热处理，冷压延到所需的厚度，热处理而制成的超薄金属薄片，通常为铁镍合金，厚度在20～40m间。相关技术中常用金属箔材裙边区和中央区的凸起高度来判断金属箔材的平整度，但按此参数选取到的金属箔材在制造精密掩模板时常常会出现良率损失，生产良率通常不高。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种精密金属掩模板条的制作方法，通过使用高平整度的金属箔材制得良率高、品质好的金属掩模板，有利于节省原料成本。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种精密金属掩模板条的制作方法，包括步骤如下：

S100，选取金属箔材：选取高平整度的金属箔材，所述金属箔材经压延工艺制备而成且具备如下性能：沿压延方向伸长量极差≤130μm，沿横向伸长量极差≤11μm，中央区宽幅占比≥10％；

S101，表面清洗：将所述金属箔材表面清洗干净，去除金属箔材表面的污染物和氧化层；

S102，金属箔材图案加工：对清洗后的金属箔材采用图案成型工艺形成精密金属掩模板所需的图案化金属箔材；

S103，裁切：将图案化后的金属箔材按照设定尺寸裁切成金属掩模板条；

S104，检测：对制成的金属掩模板条做品质检测。

本发明选取高平整度的金属箔材，该金属箔材具备沿压延方向伸长量极差≤130μm，沿横向伸长量极差≤11μm，中央区宽幅占比≥10％的性能，相较于常规选取的金属箔材，按伸长量极差和宽幅占比这些参数选取到的金属箔材的平整度优异，提高了制得的精密金属掩模板的良率。

优选地，步骤S100中，所述金属箔材沿压延方向伸长量极差≤100μm，沿横向伸长量极差≤7μm，中央区宽幅占比≥10％。经申请人研究发现，选取沿压延方向伸长量极差≤100μm，沿横向伸长量极差≤7μm，中央区宽幅占比≥10％的金属箔材，能进一步提高后续精密金属掩模板的生产良率。

优选地，步骤S100中，所述金属箔材沿压延方向伸长量极差≤50μm，沿横向伸长量极差≤6μm，中央区宽幅占比≥30％。经申请人研究发现，选取沿压延方向伸长量极差≤50μm，沿横向伸长量极差≤6μm，中央区宽幅占比≥30％的金属箔材，能进一步提高后续精密金属掩模板的生产良率。