[发明专利]一种精密金属掩模板条的制作方法

权利要求书

1.一种精密金属掩模板条的制作方法，其特征在于，包括步骤如下：

S100，选取金属箔材：选取高平整度的金属箔材，所述金属箔材经压延工艺制备而成且具备如下性能：沿压延方向伸长量极差≤100μm，沿横向伸长量极差≤7μm，中央区宽幅占比≥10%；

其中，所述伸长量极差是指：沿金属箔材的压延方向或横向取一定宽度的若干细条，每一根细条箔材在应力释放后的水平长度不同，所取各个细条箔材与所选测试箔材范围内最短的细条箔材的长度相比，其长度差值即为各细条箔材的伸长量，在所选测试箔材区域中，以最短的细条箔材长度为标准长度，最长的细条箔材长度与标准长度的差值即为金属箔材的伸长量极差；

所述中央区宽幅占比是指：以金属箔材中压延方向伸长量低于5μm的区域为中央区，金属箔材中央区宽幅与金属箔材总宽幅的比例为中央区宽幅占比；

S101，表面清洗：将所述金属箔材表面清洗干净，去除金属箔材表面的污染物和氧化层；

S102，金属箔材图案加工：对清洗后的金属箔材采用图案成型工艺形成精密金属掩模板所需的图案化金属箔材；

S103，裁切：将图案化后的金属箔材按照设定尺寸裁切成金属掩模板条。

2.根据权利要求1所述的精密金属掩模板条的制作方法，其特征在于，步骤S100中，所述金属箔材沿压延方向伸长量极差≤50μm，沿横向伸长量极差≤6μm，中央区宽幅占比≥30%。

3.根据权利要求1所述的精密金属掩模板条的制作方法，其特征在于，步骤S100中，所述金属箔材的残余应力≤200MPa。

4.根据权利要求3所述的精密金属掩模板条的制作方法，其特征在于，步骤S100中，所述金属箔材的残余应力≤140MPa。

5.根据权利要求1所述的精密金属掩模板条的制作方法，其特征在于，制备所述金属箔材的工艺包括以下步骤：

S201，金属粗箔原材成型；

S202，精密压延：至少一次对金属粗箔原材进行精密压延，轧制成表面平整的高平整度金属箔材，精密压延后制作成型的高平整度金属箔材厚度为5µm～100μm；

S203，最后热处理：对精密压延后的金属箔材进行至少一次热加工处理；

S204，整平处理：经过精密压延及热处理后的金属箔材进行整平处理，所述整平处理包括至少一次的张力退火；

S205，在整平处理完成后得到高平整度金属箔材。

6.根据权利要求5所述的精密金属掩模板条的制作方法，其特征在于，在步骤S204中，张力退火的张力为10N~1000N/mm²，温度为200~800℃，退火速度为1~100m/min，并且在还原气氛保护下进行。

7.根据权利要求5所述的精密金属掩模板条的制作方法，其特征在于，所述金属粗箔原材成型采用压延法、激光熔制法或电铸法。

8. 根据权利要求1所述的精密金属掩模板条的制作方法，其特征在于，所述金属箔材为 Ni含量为 28-45%的铁镍合金，所述铁镍合金还包括Mn、Cr、Co、Ti、Al、 Mo、Cu、V、Sc、Zn、Si 中的一种或几种，余量为 Fe 和不可避免的微量杂质。