[发明专利]一种多柱高精密抛光机的载盘定位装置

说明书

本发明涉及抛光设备，具体是一种多柱高精密抛光机的载盘定位装置，其包括设置在抛光机的机体上的下盘和至少两个上盘，每个上盘对应设置一个载盘，所述机体上设有中心定位组件和数个外侧定位组件，当数个设有待抛光件的载盘放置在所述下盘上时，所述中心定位组件从上向下置于数个载盘的阵列中心，然后每个外侧定位组件从所述下盘的外侧向内将对应的一个载盘定位在该外侧定位组件与所述中心定位组件之间，再通过下移上盘使每个载盘卡入对应的上盘。本发明采用了中心定位组件和外侧定位组件，其中中心定位组件从内侧向外定位载盘，外侧定位组件从外侧向内定位载盘，确保数个载盘精确定位，不仅结构简单、智能化程度高，而且定位精准、快速。

技术领域

本发明涉及抛光设备，具体说是一种多柱高精密抛光机的载盘定位装置。

背景技术

目前，芯片等元件的表面精度要求高，一般采用抛光机进行抛光。多柱抛光机由于可同时抛光多个元件，其应用越来越广泛。尤其是多柱高精密抛光机，其对芯片等元件的抛光不仅效率较高，而且抛光精度较高。随着科技的发展，出现了蓝宝石芯片，其衬底作为现在LED芯片基片的主要材料，因具有优异的力学性能、稳定性和光学渗透性等，得到广泛的应用。为了生产适合厚度和粗糙度的蓝宝石芯片衬底，必须对其进行背面研磨，然后进行正面研磨和抛光。在对蓝宝石芯片衬底加工抛光时，现有的方式是将蓝宝石芯片衬底粘结在载盘上，然后连同载盘放置在下盘的指定区域，再调整下盘的位置使载盘对准上盘，然后下移上盘，使载盘卡入上盘，最后启动抛光机进行抛光。这种方式的整个过程大多是人工操作，且定位载盘的时间较长，载盘卡入上盘不够精准，经常需要重复操作，定位效率低下。

发明内容

针对上述技术问题，本发明提供了一种定位精准且快速的多柱高精密抛光机的载盘定位装置。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种多柱高精密抛光机的载盘定位装置，包括设置在抛光机的机体上的下盘和至少两个上盘，每个上盘对应设置一个载盘，所述机体上设有中心定位组件和数个外侧定位组件，当数个设有待抛光件的载盘放置在所述下盘上时，所述中心定位组件从上向下置于数个载盘的阵列中心，然后每个外侧定位组件从所述下盘的外侧向内将对应的一个载盘定位在该外侧定位组件与所述中心定位组件之间，再通过下移上盘使每个载盘卡入对应的上盘。

作为优选，所述中心定位组件包括固定在所述机体上的中心定位底座、设置在中心定位底座上的中心气缸和由该中心气缸带动运动的中心传动机构，该中心传动机构的下端连接有定位盘，所述中心气缸通过该中心传动机构带动所述定位盘旋转并上下运动；当所述定位盘下降至所述下盘时，该定位盘通过旋转抵靠在下盘上的数个载盘的内侧壁上。

作为优选，所述中心气缸安装在与所述中心定位底座上端固定连接的气缸座上，所述中心传动机构包括与所述中心定位底座下端固定连接的轴套和通过轴承安装在该轴套内的中心定位轴，该中心定位轴的上端通过浮动接头与所述中心气缸铰接、下端连接所述定位盘。

作为优选，所述轴套的壁上沿轴向开设有斜槽，沿该轴套的径向设有螺栓型滚轮滚针轴承，该螺栓型滚轮滚针轴承的螺栓端径向锁紧在所述中心定位轴上、滚轮端置入所述斜槽内；当所述中心气缸驱动中心定位轴上下移动时，所述螺栓型滚轮滚针轴承的滚轮端沿所述斜槽运动以带动中心定位轴旋转。

作为优选，所述定位盘包括与所述中心定位轴的下端固定连接的盘体和设置在该盘体下侧的定位圈，该定位圈的侧壁周向设有数个弧形卡口，当所述定位圈随盘体下降至所述下盘时，每个载盘的内侧壁卡入对应的弧形卡口。

作为优选，每个外侧定位组件包括设置在所述机体上并位于下盘外侧的固定底壳、安装在该固定底壳上的侧气缸和由该侧气缸通过侧传动机构驱动的侧定位盘；当数个载盘放置在所述下盘上时，所述侧定位盘通过侧传动机构带动从外向内靠近对应的载盘并抵靠在该载盘的外侧壁上。

作为优选，所述侧传动机构包括齿轮齿条机构和转动机构，所述侧气缸通过所述齿轮齿条机构驱动转动机构转动，该转动机构带动所述侧定位盘由所述下盘的外侧移动至内侧。