[发明专利]一种多柱高精密抛光机的载盘定位装置

权利要求书

1.一种多柱高精密抛光机的载盘定位装置，包括设置在抛光机的机体上的下盘和至少两个上盘，每个上盘对应设置一个载盘，其特征在于：所述机体上设有中心定位组件和数个外侧定位组件，当数个设有待抛光件的载盘放置在所述下盘上时，所述中心定位组件从上向下置于数个载盘的阵列中心，然后每个外侧定位组件从所述下盘的外侧向内将对应的一个载盘定位在该外侧定位组件与所述中心定位组件之间，再通过下移上盘使每个载盘卡入对应的上盘。

2.根据权利要求1所述多柱高精密抛光机的载盘定位装置，其特征在于：所述中心定位组件包括固定在所述机体上的中心定位底座、设置在中心定位底座上的中心气缸和由该中心气缸带动运动的中心传动机构，该中心传动机构的下端连接有定位盘，所述中心气缸通过该中心传动机构带动所述定位盘旋转并上下运动；当所述定位盘下降至所述下盘时，该定位盘通过旋转抵靠在下盘上的数个载盘的内侧壁上。

3.根据权利要求2所述多柱高精密抛光机的载盘定位装置，其特征在于：所述中心气缸安装在与所述中心定位底座上端固定连接的气缸座上，所述中心传动机构包括与所述中心定位底座下端固定连接的轴套和通过轴承安装在该轴套内的中心定位轴，该中心定位轴的上端通过浮动接头与所述中心气缸铰接、下端连接所述定位盘。

4.根据权利要求3所述多柱高精密抛光机的载盘定位装置，其特征在于：所述轴套的壁上沿轴向开设有斜槽，沿该轴套的径向设有螺栓型滚轮滚针轴承，该螺栓型滚轮滚针轴承的螺栓端径向锁紧在所述中心定位轴上、滚轮端置入所述斜槽内；当所述中心气缸驱动中心定位轴上下移动时，所述螺栓型滚轮滚针轴承的滚轮端沿所述斜槽运动以带动中心定位轴旋转。

5.根据权利要求4所述多柱高精密抛光机的载盘定位装置，其特征在于：所述定位盘包括与所述中心定位轴的下端固定连接的盘体和设置在该盘体下侧的定位圈，该定位圈的侧壁周向设有数个弧形卡口，当所述定位圈随盘体下降至所述下盘时，每个载盘的内侧壁卡入对应的弧形卡口。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述多柱高精密抛光机的载盘定位装置，其特征在于：每个外侧定位组件包括设置在所述机体上并位于下盘外侧的固定底壳、安装在该固定底壳上的侧气缸和由该侧气缸通过侧传动机构驱动的侧定位盘；当数个载盘放置在所述下盘上时，所述侧定位盘通过侧传动机构带动从外向内靠近对应的载盘并抵靠在该载盘的外侧壁上。

7.根据权利要求6所述多柱高精密抛光机的载盘定位装置，其特征在于：所述侧传动机构包括齿轮齿条机构和转动机构，所述侧气缸通过所述齿轮齿条机构驱动转动机构转动，该转动机构带动所述侧定位盘由所述下盘的外侧移动至内侧。

8.根据权利要求7所述多柱高精密抛光机的载盘定位装置，其特征在于：所述齿轮齿条机构包括设置在所述固定底壳内并通过鱼眼接头与所述侧气缸的伸缩杆连接的齿条和水平设置在固定底壳内与该齿条啮合的齿轮；所述转动机构包括竖直设置的转轴和水平设置的摆动组件，该转轴的下端安装在所述齿轮的内圈，所述转轴的下端安装有设置在所述固定底壳内并位于该齿轮上侧的深沟球轴承，该转轴的上端连接所述摆动组件；由所述齿轮带动旋转的转轴驱动摆动组件摆动，该摆动组件带动所述侧定位盘摆动。

9.根据权利要求8所述多柱高精密抛光机的载盘定位装置，其特征在于：所述摆动组件包括与所述固定底壳连接的固定座和水平设置的摆臂，该摆臂的一端与所述转轴的上端固定连接、另一端通过竖直设置的活动轴与所述侧定位盘连接。

10.根据权利要求1所述多柱高精密抛光机的载盘定位装置，其特征在于：所述待抛光件为蓝宝石芯片衬底，所述载盘为陶瓷载盘。