[发明专利]一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器及其制作方法

说明书

本发明涉及滤波器技术领域，具体为一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器，包括：信号输入端A、信号输出端B、电容C1、电容C2、电容C3、电容C4、电容C5、电容C6、电容C7、电感L1、电感L2、电感L3。本发明还提供一种制作方法制备该IPD滤波器；该发明优化器件电路结构，在满足滤波性能的基础上，尽量减少器件组成及复杂连接，从而在设计理念上减少其尺寸偏大、功耗较大的缺点；满足滤波性能的基础上，优化器件组成的Q值，降低功耗和带内插损；优化器件层次结构，对于其中的相似结构尽量设计成一样，使之在生产上减少光罩数量，并对工艺设计上的参数成本尽量简化；采用硅基集成，降低IPD滤波器的生产成本。

技术领域

本发明涉及滤波器技术领域，具体为一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器及其制作方法。

背景技术

手机通信、雷达、物联网等射频信道领域是IPD(Integrated Passive Device)滤波器发展的重要动力。IPD滤波器的设计实际上是无源器件的搭接，通过控制谐振点及整个线路达到对信号的屏蔽或通过，但设计滤波器的过程中应充分考虑性能要求，元件大小。以常见的带通滤波器为例：IPD滤波器的谐振电路既有并联也有串联，但实际设计中，考虑到整个器件的微型化，常选择LC并联谐振电路而不采用串联；这是因为LC并联谐振电路的电感值与串联相比，电感要小得多，而整个电路中电感又是所占面积较大的部分。而在工艺生产上，IPD的制程以尽可能达到功能而制程周期较短为宜以降低了整个系统的总成本，增加厂商的利润，正是考虑到这些，IPD滤波器的设计、生产往往大相径庭。

以某中频滤波器为例：中频带通滤波器是手机、蓝牙中必不可少的一类典型产品，其主要的特点在于对接收频率信号的筛选及最大程度地保留信号强度(低插损)和对带外信号的高抑制，但如此关键的器件却往往需要占用较大的空间以至于不得已以牺牲“便携、轻型”为代价，从而降低整个产品的舒适性；另外，在低功耗、高性能方面，局限于工艺设计及生产能力，整个IPD滤波器件的Q值较低，信号失真及频繁发热老化现象也较为严重。在IPD滤波器生产设计成本方面，由于某些原因，如：设计师对工艺生产流程的设计认知不足、生产过程控制不严等，使得生产成本较高。

因此，通过上述内容不难看出，由于目前设计、工艺的发展，已公开的IPD滤波器设计在微型化、高性能、低功耗、低成本等方面还存在不足。鉴于此，我们提出一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器及其制作方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器及其制作方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器，包括：信号输入端A、信号输出端B、电容C1、电容C2、电容C3、电容C4、电容C5、电容C6、电容C7、电感L1、电感L2、电感L3；所述信号输入端A与信号输出端B之间串接有所述电容C2和电容C5；所述信号输入端A与电容C2正极连接的公共端并接在电容C1正极与电感L1信号输入端上，且所述电容C1负极与电感L1信号输出端并联后接地；所述电容C2负极与电容C5正极连接的公共端连接所述电容C3正极，所述电容C3负极并接在电容C4正极与电感L2信号输入端上，且所述电容C4负极和电感L2信号输出端并联后接地；所述电容C5负极与信号输出端B连接的公共端并接在电容C6正极与电感L3信号输入端上，且所述电容C6负极与电感L3信号输出端并接后接所述电容C7的正极，所述C7的负极接地。

优选的，所述电感L1采用金属铝进行绕制，所述电感L2、电感L3采用金属铜进行绕制。

本发明还提供一种制作方法，用于制作所述的基于5G通信N79频段的IPD滤波器，包括以下步骤：

步骤1：在硅衬底上化学气相沉积形成绝缘介质层，并对硅衬底的表面进行介质平坦化处理；

步骤2：在绝缘介质层上进行刻蚀，形成金属布线凹槽；