[发明专利]一种兼容性晶圆载台装置

说明书

本发明涉及一种兼容性晶圆载台装置，包括支撑台面和产品载台，产品载台通过载台底座安装在支撑台面上的中间位置，产品载台外侧的支撑台面上沿着圆周方向均匀的设置有若干个弧形结构的支撑座，支撑座上安装有两个抚平机构，其中一个抚平机构位于靠近产品载台的一侧，另一个抚平机构位于远离产品载台的一侧。本发明补全了裸晶圆加载台装置工和晶圆带加工载台装置设计的空缺，增加了抚平机构对裸晶圆和晶圆带进行抚平操作；本发明可根据产品翘曲高度和产品尺寸选用不同的抚平装置和调整，无需拆装。

技术领域

本发明涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种兼容性晶圆载台装置。

背景技术

经过海量检索，发现现有技术公开号为CN217444361U，公开了一种石英旋转吸附载台，从上往下依次包括刻槽石英载盘、石英安装板、载台底座、旋转电机和旋转轴垫板，旋转电机安装在旋转轴垫板上的中间位置，旋转电机顶部的驱动端与上方的载台底座驱动连接设置，载台底座上安装有石英安装板，石英安装板的顶部内侧安装有刻槽石英载盘，载台底座上沿着圆周方向均匀的安装有若干个吸盘支架，吸盘支架上安装有吸盘。本发明为晶圆切割设备对加工的产品进行吸附固定的载台，解决吸附平面度问题，对产品吸附牢固而且吸附力均匀，同时提供照明光源，背光配合影像提高定位精度，旋转轴搭配光栅尺系统，大大提升了定位精度。

当前市场上裸晶圆(8inch和12inch)、晶圆带Fame(8inch晶圆带、12inch晶圆带)加工载台对应不同产品尺寸和产品翘曲方式，以晶圆带Fame为例，多数以背面切割，正面压板应对，通过更换载台和压板方式为主，而晶圆产品在激光加工过程中主要进行切槽，切边等精密加工工艺，需要操作方便，所以以上方式存在以下问题：

在根据不同尺寸产品更换载台中，由于晶圆产品加工工艺要求比较严格，加工光路与加工载台装置的垂直度小于0.01mm，而加工载台装置拆装后会导致平面度变化，与已校正切割光路会出现夹角，这是需产品进行试切割后根据影像系统测量实际尺寸后重新校正加工载台装置的平面度，与加工光路的垂直度。因此晶圆产品在生产过程中切换不同型号或系列产品，装置拆装时间较长，校正工作量比较大，并且操作人员会出现遗漏或者失误情况下，会造成产品加工批量不良。

在裸晶圆加工主要产品与载台面形成真空回路区域，通过产品两面形成压力差应对翘曲。而在晶圆带Fame加工中以防止因Fame翘曲对于晶圆加工的影响，因此不仅要应对晶圆翘曲，还要应对Fame的翘曲，仅通过真空吸附应对无法满足。由于晶圆和Fame之间的连接主要是通过一层带粘性的蓝膜，没有连接的刚性。所以在目前市场主要通过底部进行加工，正面通过压板对Fame进行抚平方式，但是压板方式抚平翘曲，会使得晶圆加工载台装置机构复杂，人员取放产品不便，维护保养，以及产品型号的更换耗费太多人力与时间，同时没有办法实时观察加工，切割光学的状态，对于异常加工检查麻烦等。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种兼容性晶圆载台装置，使其更具有产业上的利用价值。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种兼容性晶圆载台装置。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种兼容性晶圆载台装置，包括支撑台面和产品载台，产品载台通过载台底座安装在支撑台面上的中间位置，产品载台外侧的支撑台面上沿着圆周方向均匀的设置有若干个弧形结构的支撑座，支撑座上安装有两个抚平机构，其中一个抚平机构位于靠近产品载台的一侧，另一个抚平机构位于远离产品载台的一侧。

作为本发明的进一步改进，抚平机构包括气缸安装基板、升降气缸和压板，升降气缸通过气缸安装基板安装在支撑座上，升降气缸顶部的活塞杆与上方的压板相连接，压板可与产品载台的边缘或者支撑座的边缘相接触设置。

作为本发明的进一步改进，压板的第一侧通过第一连接臂机构与下方的活塞杆相连接，压板的第二侧通过第二连接臂机构与下方的气缸安装基板以及活塞杆相连接。