[发明专利]一种兼容性晶圆载台装置

权利要求书

1.一种兼容性晶圆载台装置，包括支撑台面(1)和产品载台(3)，所述产品载台(3)通过载台底座(2)安装在支撑台面(1)上的中间位置，其特征在于，所述产品载台(3)外侧的支撑台面(1)上沿着圆周方向均匀的设置有若干个弧形结构的支撑座(4)，所述支撑座(4)上安装有两个抚平机构(5)，其中一个所述抚平机构(5)位于靠近产品载台(3)的一侧，另一个所述抚平机构(5)位于远离产品载台(3)的一侧。

2.如权利要求1所述的一种兼容性晶圆载台装置，其特征在于，所述抚平机构(5)包括气缸安装基板(6)、升降气缸(9)和压板(13)，所述升降气缸(9)通过气缸安装基板(6)安装在支撑座(4)上，所述升降气缸(9)顶部的活塞杆(10)与上方的压板(13)相连接，所述压板(13)可与产品载台(3)的边缘或者支撑座(4)的边缘相接触设置。

3.如权利要求2所述的一种兼容性晶圆载台装置，其特征在于，所述压板(13)的第一侧通过第一连接臂机构与下方的活塞杆(10)相连接，所述压板(13)的第二侧通过第二连接臂机构与下方的气缸安装基板(6)以及活塞杆(10)相连接。

4.如权利要求3所述的一种兼容性晶圆载台装置，其特征在于，所述第一连接臂机构包括第一连接块(11)和第二连接块(12)，所述活塞杆(10)与上方的第一连接块(11)相连接，所述第一连接块(11)的第一侧通过转轴(16)与上方的第二连接块(12)相连接，所述第二连接块(12)通过转轴(16)与上方的压板(13)的第一侧相连接；所述第二连接臂机构包括第三连接块(14)和第四连接块(15)，所述压板(13)的第二侧通过转轴(16)与下方的第三连接块(14)的第一侧相连接，所述第三连接块(14)的中部通过转轴(16)与下方的第四连接块(15)相连接，所述第四连接块(15)通过转轴(16)与下方的第一连接块(11)的第二侧相连接，所述第三连接块(14)的第二侧通过转轴(16)与下方的气缸安装基板(6)相连接。

5.如权利要求2所述的一种兼容性晶圆载台装置，其特征在于，所述气缸安装基板(6)的底部还设置有基板调节块(7)，所述基板调节块(7)安装在支撑座(4)上，所述基板调节块(7)通过若干个基板调节螺丝(8)与上方的气缸安装基板(6)相连接。

6.如权利要求1所述的一种兼容性晶圆载台装置，其特征在于，所述产品载台(3)的外侧沿着圆周方向均匀的设置有四个弧形结构的支撑座(4)。

7.如权利要求1所述的一种兼容性晶圆载台装置，其特征在于，其中靠近产品载台(3)的所述抚平机构(5)位于支撑座(4)上的一侧位置，另一个远离产品载台(3)的所述抚平机构(5)位于支撑座(4)上的中间位置。