[发明专利]衬底处理条件的设定方法、衬底处理方法、衬底处理条件的设定系统、及衬底处理系统

说明书

本发明提供一种衬底处理条件的设定方法、衬底处理方法、衬底处理条件的设定系统、及衬底处理系统。衬底处理条件的设定方法包含：步骤(S24)，对基于学习用处理条件、及以学习用处理条件处理衬底(W)时的处理结果进行机械学习后的已学习模型(M)，输入多个处理条件，取得多个推定处理结果；步骤(S26)，使显示部(105)显示基于多个推定处理结果的图像；及步骤(S27及S28)，基于显示于显示部(105)的图像，将与多个推定处理结果中的1个推定处理结果对应的1个处理条件，设定为处理衬底(W)时的执行处理条件。

技术领域

本发明涉及一种衬底处理条件的设定方法、衬底处理方法、衬底处理条件的设定系统、及衬底处理系统。

背景技术

已知有将晶圆本体、或于表面形成着被膜的晶圆设为处理对象，通过液体处理进行处理对象的膜厚调整的衬底处理装置。作为这种衬底处理装置的一种，具有具备对晶圆表面供给蚀刻用的处理液的喷嘴的单片型衬底处理装置(例如，参考专利文献1)。专利文献1的衬底处理系统中，通过基于包含衬底处理条件及与品质相关的实绩数据的数据集的机械学习产生已学习模型，基于已学习模型，导出衬底处理的推荐处理条件。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]国际公开第WO2020/105517号

发明内容

[发明所要解决的问题]

然而，在如专利文献1中记载的衬底处理装置般使用已学习模型导出最佳处理条件的方法中，例如，在获得特定蚀刻分布的基础上允许的处理条件的范围(也称为工艺窗口)较窄的情况下，有无法在量产时稳定处理衬底的情况。另外，在专利文献1记载的方法中，例如，在能获得特定蚀刻分布的处理条件下，有处理液的使用量大幅增加的情况。

也就是说，在专利文献1记载的方法中，有通过已学习模型导出不适合量产的处理条件的情况。

本发明是鉴于所述问题而完成的，目的在于提供一种能设定适合量产的处理条件的衬底处理条件的设定方法、衬底处理方法、衬底处理条件的设定系统、及衬底处理系统。

[解决问题的技术手段]

本发明的一方面的衬底处理条件的设定方法包含以下步骤：对基于学习用处理条件、及以所述学习用处理条件处理衬底时的处理结果进行机械学习后的已学习模型，输入多个处理条件，取得多个推定处理结果；使显示部显示基于所述多个推定处理结果的图像；及基于显示于所述显示部的所述图像，将与所述多个推定处理结果中的1个推定处理结果对应的1个处理条件，设定为处理衬底时的执行处理条件。

在本发明的一方面中，衬底处理条件的设定方法还可包含在所述取得的步骤之前，设定包含特定处理条件的输入条件范围的步骤。在所述取得的步骤中，可对所述已学习模型，输入所述输入条件范围中包含的多个处理条件，取得所述多个推定处理结果。

在本发明的一方面中，所述处理条件各自可至少包含表示供给到衬底的处理液的浓度的浓度条件、表示供给到所述衬底的所述处理液的温度的温度条件、表示供给到所述衬底的所述处理液的供给量的供给量条件、表示所述衬底的转速的转速条件、及表示对所述衬底供给所述处理液的喷嘴的扫描速度的速度条件。

在本发明的一方面中，衬底处理条件的设定方法在设定为所述执行处理条件的步骤之前，还可包含基于显示于所述显示部的所述图像，由用户选择所述1个处理条件的步骤。在设定为所述执行处理条件的步骤中，可将选择的所述1个处理条件设定为所述执行处理条件。

在本发明的一方面中，所述图像可包含分布图。所述处理条件各自可具有多个参数。可使用由用户指定的2种参数、与所述推定处理结果以3维显示所述分布图。

在本发明的一方面中，所述显示部可显示能由用户选择作为所述分布图的变量的所述参数的种类的选择部。