[发明专利]一种晶圆的清洗、甩干装置

权利要求书

1.一种晶圆的清洗、甩干装置，其特征在于，包括安装板(1)，所述安装板(1)的下端面固定安装有固定夹板(2)，所述固定夹板(2)之间固定安装有竖向伸缩机构(3)，所述竖向伸缩机构(3)的下端固定连接在定位板(4)上，所述竖向伸缩机构(3)的上端穿过安装板(1)上设置的安装槽连接有吸附旋转机构(5)和夹持机构(6)，所述竖向伸缩机构(3)的一侧固定安装有旋转电机(7)，所述旋转电机(7)的顶部固定安装有吸附气缸(8)，所述旋转电机(7)与所述竖向伸缩机构(3)通过齿圈和齿条连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆的清洗、甩干装置，其特征在于，所述竖向伸缩机构(3)包括固定安装在所述固定夹板(2)之间的固定板(9)，所述固定板(9)上固定安装有伸缩轴(10)，所述伸缩轴(10)的下端连接着定位板(4)，上端连接着夹持机构(6)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆的清洗、甩干装置，其特征在于，所述夹持机构(6)包括外伸支架(11)，所述外伸支架(11)的外侧一端固定安装有与外伸支架(11)相垂直的固定柱(12)，所述固定柱(12)的顶端旋转连接有呈一定开角的转动夹持板(13)，所述转动夹持板(13)上的板条一端穿过限位柱(15)下部的滑槽(14)，另一端穿过隔离罩(16)上的限位槽伸出到隔离罩(16)的上端，其中伸出隔离罩(16)的一端头部设置有用于固定晶圆的凹槽(17)，所述限位柱(15)的上端固定安装在隔离罩(16)的上部面板上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆的清洗、甩干装置，其特征在于，所述转动夹持板(13)上，伸入滑槽(14)的板条和伸出隔离罩(16)的板条之间的角度根据需要夹持的晶圆进行设定，角度范围在120°～160°。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆的清洗、甩干装置，其特征在于，所述吸附旋转机构(5)包括吸气柱(18)，所述吸气柱(18)固定安装在所述外伸支架(11)上端，所述吸气柱(18)的顶端面上设置有若干吸附孔(19)，所述吸气柱(18)呈圆柱状，所述吸气柱(18)的顶面为平滑的水平面。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆的清洗、甩干装置，其特征在于，所述吸气柱(18)呈圆柱状，所述隔离罩(16)与所述吸气柱(18)顶面在竖向对应的位置设置有与用于吸气柱(18)穿过的通孔(20)，所述通孔(20)的尺寸与所述吸气柱(18)的尺寸相适应。