[发明专利]麦克风组件、制备方法及电子设备

权利要求书

1.一种麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括第一电极层（101），与所述第一电极层（101）对应设置的第二电极层（102），以及基底（105）；

所述基底（105）具有在厚度方向上贯穿所述基底（105）的腔体，所述第二电极层（102）设置在所述腔体上方，并且所述第二电极层（102）的一侧与所述基底（105）的一侧表面固定连接；

所述第一电极层（101）包括多个相互隔离的第一电极区域（1011），所述第二电极层（102）包括第二电极区域（1021），其中，每一所述第一电极区域（1011）均与所述第二电极区域（1021）构成电容结构。

2.如权利要求1所述的麦克风组件，其特征在于，还包括与多个所述第一电极区域（1011）一一对应设置的电极引出元件（103），每一所述电极引出元件（103）设置在对应的所述第一电极区域（1011）的表面并和与之对应的所述第一电极区域（1011）电连接。

3.如权利要求1所述的麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件还包括第一支撑件（106）以及第二支撑件（107）；

所述第二电极层（102）的一侧通过所述第一支撑件（106）与所述基底（105）的一侧表面固定连接，所述第二电极层（102）的另一侧通过所述第二支撑件（107）与所述第一电极层（101）固定连接。

4.如权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，所述第一电极层（101）为背极板的导电层，所述第二电极层（102）为振膜，所述背极板还包括与所述第二支撑件（107）固定连接的第一绝缘层（1012），所述第一电极层（101）位于所述第一绝缘层（1012）上；

所述振膜的非固定区域形成所述第二电极区域（1021）。

5.如权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，所述第一电极层（101）为振膜，所述第二电极层（102）为背极板的导电层；

所述麦克风组件还包括与所述第二支撑件（107）固定连接的第三支撑层（108），所述振膜位于所述第三支撑层（108）上；

所述背极板还包括与所述第一支撑件（106）固定连接的第一绝缘层（1012），所述导电层与所述第一绝缘层（1012）固定连接，所述导电层形成所述第二电极区域（1021）。

6.如权利要求1所述的麦克风组件，其特征在于，所述第一电极层（101）上设置有至少一个隔离件（1022），从而将多个所述第一电极区域（1011）相互隔离。

7.如权利要求6所述的麦克风组件，其特征在于，所述至少一个隔离件（1022）为在厚度上贯穿所述第一电极层（101）的隔离槽。

8.如权利要求1所述的麦克风组件，其特征在于，每一所述第一电极区域（1011）的组成所述电容结构的有效面积相同。

9.如权利要求8所述的麦克风组件，其特征在于，每一所述第一电极区域（1011）的形状以及大小均相同。

10.如权利要求2所述的麦克风组件，其特征在于，多个所述第一电极区域（1011）的厚度相同，多个所述电极引出元件（103）的厚度相同。

11.一种麦克风组件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

提供基底（105）并在所述基底（105）上形成第二电极层（102）；

在所述第二电极层（102）上方形成第一电极层（101）；

在所述第一电极层（101）上形成多个相互隔离的第一电极区域（1011），每一所述第一电极区域（1011）与所述第二电极层（102）的第二电极区域（1021）均构成电容结构。

12.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求1至10任一项所述的麦克风组件。