[实用新型]芯片剥离负压加热平台有效

专利信息
申请号: 202223600004.2 申请日: 2022-12-30
公开(公告)号: CN219180491U 公开(公告)日: 2023-06-13
发明(设计)人: 张锡平;王俊;鲁国健 申请(专利权)人: 江苏芯德半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 无锡华越知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32571 代理人: 王少卿
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 芯片 剥离 加热 平台
【权利要求书】:

1.芯片剥离负压加热平台,其特征在于,包括:主控台、负压加热平台和真空吸取机构,所述主控台的顶部设有负压加热平台,所述加热平台的顶部设置真空吸取机构;

所述真空吸取机构包括:移动部、伸缩部和吸取部,所述移动部设置在主控台上且位于芯片剥离负压加热平台的上方,所述移动部上连接伸缩部,所述伸缩部的底部安装吸取部。

2.根据权利要求1所述的芯片剥离负压加热平台,其特征在于,所述移动部包括:支架、X轴丝杆模组和Y轴丝杆模组,所述支架竖直安装在主控台上,所述X轴丝杆模组架设在支架上,所述X轴丝杆模组设有两组,所述Y轴丝杆模组安装在X轴丝杆模组上,所述X轴丝杆模组驱动Y轴丝杆模组往复移动。

3.根据权利要求2所述的芯片剥离负压加热平台,其特征在于,所述Y轴丝杆模组上安装伸缩部且驱动伸缩部往复移动。

4.根据权利要求3所述的芯片剥离负压加热平台,其特征在于,所述伸缩部为气缸和安装座,所述气缸的输出端设置安装座,所述安装座上设置吸取部,所述气缸驱动吸取部上下移动。

5.根据权利要求4所述的芯片剥离负压加热平台,其特征在于,所述吸取部包括:真空吸笔和第一真空管道,所述真空吸笔连接安装座,所述第一真空管道与真空吸笔连通。

6.根据权利要求5所述的芯片剥离负压加热平台,其特征在于,所述负压加热平台包括:外壳、电加热组件、真空孔、定位凹槽和第二真空管道,所述电加热组件设置在外壳内,所述外壳固定在主控台顶部,所述外壳的顶部具有定位凹槽,所述定位凹槽内具有若干真空孔,所述真空孔与第二真空管道连通。

7.根据权利要求6所述的芯片剥离负压加热平台,其特征在于,所述真空孔的直径为1mm-2mm。

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