[实用新型]一种晶体生长炉

说明书

本实用新型公开一种晶体生长炉，包括炉体、热场、感应线圈、大炉盖、小炉盖和升降模组，炉体固定在框架上，热场放置在热场支撑柱上，热场支撑柱放置在小炉盖上，可随小炉盖移动，感应线圈固定在线圈支撑柱上，线圈支撑柱放置在大炉盖上，电极由大炉盖引出，可随大炉盖移动。大炉盖与炉体以连接螺钉固定，升降模组与框架固定。装卸料时，升降模组带动小炉盖实现小炉盖和热场的往复运动。检修感应线圈时，可松开连接螺钉，使大炉盖随小炉盖同时移动。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长技术领域，特别是涉及一种晶体生长炉。

背景技术

感应炉广泛的应用于晶体生长领域，其主要结构包括炉体、炉盖、感应电源、真空系统、气体系统和冷却系统。其中炉体内包含热场和感应线圈，热场内包含晶体生长所需的原料。

现有感应炉为上部手工装卸料，使用时需开启上炉盖后手工装卸料，其缺点是取放料困难，同时手工取放料的结构会增大无效设计空间，降低炉内空间的利用率。另一方面，现有感应炉的感应线圈电极由炉体侧面引出，维护时需要断开感应线圈与感应线圈电极的连接，然后从上部提拉感应线圈至炉外进行维护，此过程工序较多，降低了感应线圈的可维护性。

针对上述晶体生长炉取放料难及线圈维护难的问题，需要设计一种新的晶体生长炉。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶体生长炉，采用大小盖下出料式感应炉，通过可升降式小炉盖解决了取放料困难的问题，通过可随小炉盖同时升降的大炉盖并设计感应线圈电极由大炉盖下方引出，使感应线圈在不与感应线圈电极分离的情况下随大炉盖移动，从而提升了感应线圈的维护便利性。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：本实用新型提供一种晶体生长炉，包括

炉体，所述炉体可拆卸的安装在框架上，所述炉体内设置有热场和感应线圈；以及

热场，所述热场安装在热场支撑柱上，晶体生长所需原料放置于所述热场内；以及

小炉盖，所述热场支撑柱放置在所述小炉盖上；以及

感应线圈，所述感应线圈设置于所述热场的外周，所述感应线圈安装在线圈支撑柱上，感应线圈电极与所述感应线圈联接；以及

大炉盖，所述线圈支撑柱放置在所述大炉盖上，所述感应线圈电极由所述大炉盖引出；以及

升降模组，所述大炉盖和小炉盖活动安装在所述升降模组上，所述升降模组用于带动所述大炉盖和小炉盖在所述炉体和框架之间上下移动。

炉体固定在框架上，热场放置在热场支撑柱上，热场支撑柱放置在小炉盖上，可随小炉盖移动，感应线圈固定在线圈支撑柱上，线圈支撑柱放置在大炉盖上，电极由大炉盖引出，可随大炉盖移动。大炉盖与炉体以连接螺钉固定。升降模组与框架固定。

装卸料时，升降模组带动小炉盖实现小炉盖和热场的往复运动。

检修感应线圈时，可松开连接螺钉，使大炉盖随小炉盖同时移动。

在其中一个实施例中，所述大炉盖的顶部通过连接螺钉可拆卸的安装在所述炉体的底部。

在其中一个实施例中，所述小炉盖设置于所述大炉盖的底部，所述小炉盖的外径大于所述大炉盖的内径且小于所述大炉盖的外径。

在其中一个实施例中，所述小炉盖上与所述大炉盖的底部接触的位置安装有密封O型圈一。

在其中一个实施例中，所述大炉盖的外径大于所述炉体的内腔直径，所述大炉盖上与所述炉体的底部边缘接触的位置安装有密封O型圈二。