[实用新型]一种晶体生长炉有效
| 申请号： | 202223492535.4 | 申请日： | 2022-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN219195219U | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏;徐文立;胡建宇;杜霆 | 申请（专利权）人： | 宁波恒普真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王芳 |
| 地址： | 315300 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 | ||
1.一种晶体生长炉，其特征在于：包括
炉体，所述炉体可拆卸的安装在框架上，所述炉体内设置有热场和感应线圈；以及
热场，所述热场安装在热场支撑柱上，晶体生长所需原料放置于所述热场内；以及
小炉盖，所述热场支撑柱放置在所述小炉盖上；以及
感应线圈，所述感应线圈设置于所述热场的外周，所述感应线圈安装在线圈支撑柱上，感应线圈电极与所述感应线圈联接；以及
大炉盖，所述线圈支撑柱放置在所述大炉盖上，所述感应线圈电极由所述大炉盖引出；以及
升降模组，所述大炉盖和小炉盖活动安装在所述升降模组上，所述升降模组用于带动所述大炉盖和小炉盖在所述炉体和框架之间上下移动。
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于：所述大炉盖的顶部通过连接螺钉可拆卸的安装在所述炉体的底部。
3.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于：所述小炉盖设置于所述大炉盖的底部，所述小炉盖的外径大于所述大炉盖的内径且小于所述大炉盖的外径。
4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于：所述小炉盖上与所述大炉盖的底部接触的位置安装有密封O型圈一。
5.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于：所述大炉盖的外径大于所述炉体的内腔直径，所述大炉盖上与所述炉体的底部边缘接触的位置安装有密封O型圈二。
6.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于：所述升降模组包括托架、直线导轨、传动丝杠和升降电机，所述直线导轨包括导轨和滑块，所述传动丝杠包括丝杠和螺母，所述托架与直线导轨的滑块和传动丝杠的螺母固定连接，所述直线导轨和传动丝杠固定连接在框架上，所述传动丝杠与升降电机动力连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波恒普真空科技股份有限公司，未经宁波恒普真空科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202223492535.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体热处理设备的热电偶定位工装
- 下一篇：一种模具抽芯冷却结构
