[实用新型]一种模块综测校准机

说明书

本实用新型公开了一种模块综测校准机，包括可扩展框架、以及设置于所述可扩展框架内的进料机构、多个屏蔽测试机构以及至少一个抓取机构：进料机构，用于输送待测试芯片；多个所述屏蔽测试机构沿所述进料机构的进料方向分别设置于所述进料机构的两侧；所述屏蔽测试机构包括用于进行芯片测试的测试工装以及用于屏蔽干扰信号的屏蔽箱，所述测试工装设置于所述屏蔽箱内；所述抓取机构设置于所述进料机构的上方，所述抓取机构包括驱动连接的第一移动组件和机械手所述机械手可在所述第一移动组件的驱动下从所述进料机构上抓取所述待测试芯片，并分别移送至所述进料机构两侧的测试机构进行测试。本实用新型实施例的技术方案可以提高芯片功能的检测效率。

技术领域

本实用新型涉及芯片检测设备技术领域，特别涉及一种模块综测校准机。

背景技术

芯片在电子学中是一种把电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并通常制造在半导体晶圆表面上。芯片在完成程序下载后，需要对芯片的一些功能进行检测校准。在目前的技术方案中，通过机械手将待测试芯片放置在预先设定的电路板上，以确定待测试芯片功能是否正常，然而芯片功能检测需要持续一定时间，检测效率较低，并且容易被周围的信号干扰，影响检测结果的准确性。由此，如何提高芯片功能检测的检测效率，并保证检测结果的准确性成为了亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的目的在于提出模块综测校准机。

为达到上述目的，本实用新型的实施例提出了一种模块综测校准机，包括可扩展框架、以及设置于所述可扩展框架内的进料机构、多个屏蔽测试机构以及至少一个抓取机构：

进料机构，用于输送待测试芯片；

多个所述屏蔽测试机构沿所述进料机构的进料方向分别设置于所述进料机构的两侧；所述屏蔽测试机构包括用于进行芯片测试的测试工装以及用于屏蔽干扰信号的屏蔽箱，所述测试工装设置于所述屏蔽箱内；

所述抓取机构设置于所述进料机构的上方，所述抓取机构包括驱动连接的第一移动组件和机械手，所述第一移动组件包括第一滑轨、第一滑块以及第一驱动件，所述第一滑轨横设于所述进料机构的上方，所述第一驱动件可驱动所述第一滑块在所述第一滑轨上往复运动；所述机械手与所述第一滑块相连接，且包含多个吸嘴升降组；所述机械手可在所述第一移动组件的驱动下从所述进料机构上抓取所述待测试芯片，并分别移送至所述进料机构两侧的测试机构进行测试。

根据本实用新型实施例的模块综测校准机，进料机构用于输送待测试芯片，多个屏蔽测试机构设置于进料机构的两侧，该屏蔽测试机构包括屏蔽箱以及设置于屏蔽箱内的测试工装，从而可以屏蔽外部的干扰信号，保证芯片功能检测结果的准确性。抓取机构设置于进料机构的上方，其可以从进料机构上抓取待测试芯片，并分别移送至进料机构两侧的屏蔽测试机构进行测试，由此可以提高芯片功能的检测效率。

另外，根据本实用新型上述实施例提出的一种模块综测校准机，还可以具有如下附加的技术特征：

可选地，所述抓取机构还包括第二移动组件；所述第二移动组件包括第二驱动件以及两对相配合的第二滑轨和第二滑块，两个所述第二滑轨沿所述进料方向分别设置于所述进料机构的两侧，所述第一滑轨架设于两个所述第二滑块上，所述第二驱动件可驱动所述第二滑块沿所述第一滑轨往复运动。

可选地，所述进料机构的每一侧包含多个所述屏蔽测试机构。

可选地，所述屏蔽箱包括上盖以及壳体，所述上盖与所述壳体形成一容纳腔；所述屏蔽箱还包括驱动连接的抬升组件和推送组件，所述抬升组件与所述上盖相连接，用于抬升所述上盖，所述推送组件可在所述上盖抬升时，带动所述抬升组件进而带动所述上盖离开所述壳体的上方。