[实用新型]一种模块综测校准机

权利要求书

1.一种模块综测校准机，其特征在于，包括可扩展框架、以及设置于所述可扩展框架内的进料机构、多个屏蔽测试机构以及至少一个抓取机构：

进料机构，用于输送待测试芯片；

多个所述屏蔽测试机构沿所述进料机构的进料方向分别设置于所述进料机构的两侧；所述屏蔽测试机构包括用于进行芯片测试的测试工装以及用于屏蔽干扰信号的屏蔽箱，所述测试工装设置于所述屏蔽箱内；

所述抓取机构设置于所述进料机构的上方，所述抓取机构包括驱动连接的第一移动组件和机械手，所述第一移动组件包括第一滑轨、第一滑块以及第一驱动件，所述第一滑轨横设于所述进料机构的上方，所述第一驱动件可驱动所述第一滑块在所述第一滑轨上往复运动；所述机械手与所述第一滑块相连接，且包含多个吸嘴升降组；所述机械手可在所述第一移动组件的驱动下从所述进料机构上抓取所述待测试芯片，并分别移送至所述进料机构两侧的测试机构进行测试。

2.根据权利要求1所述的模块综测校准机，其特征在于，所述抓取机构还包括第二移动组件；所述第二移动组件包括第二驱动件以及两对相配合的第二滑轨和第二滑块，两个所述第二滑轨沿所述进料方向分别设置于所述进料机构的两侧，所述第一滑轨架设于两个所述第二滑块上，所述第二驱动件可驱动所述第二滑块沿所述第一滑轨往复运动。

3.根据权利要求2所述的模块综测校准机，其特征在于，所述进料机构的每一侧包含多个所述屏蔽测试机构。

4.根据权利要求1所述的模块综测校准机，其特征在于，所述屏蔽箱包括上盖以及壳体，所述上盖与所述壳体形成一容纳腔；所述屏蔽箱还包括驱动连接的抬升组件和推送组件，所述抬升组件与所述上盖相连接，用于抬升所述上盖，所述推送组件可在所述上盖抬升时，带动所述抬升组件进而带动所述上盖离开所述壳体的上方。

5.根据权利要求4所述的模块综测校准机，其特征在于，所述抬升组件包括设置于所述上盖两侧的两个第三驱动件，所述第三驱动件的驱动端与所述上盖连接；所述推送组件包括第四驱动件以及设置于所述壳体两侧的两对相配合的第三滑轨和第三滑块，所述第三驱动件的固定端与所述第三滑块相连接，所述第四驱动件可驱动所述第三滑块沿所述第三滑轨往复运动。

6.根据权利要求1所述的模块综测校准机，其特征在于，还包括视觉定位机构，与所述进料机构相对设置，所述视觉定位机构用于对所述进料机构上的待测试芯片进行定位。