[实用新型]一种用于控制洁净区域粒子数量的装置

权利要求书

1.一种用于控制洁净区域粒子数量的装置，其特征在于，包括：

空调箱，所述空调箱包括变频风机，用于调控总送风量；

粒子检测仪，用于检测洁净房间的粒子数量；

送风量阀，用于调节洁净房间的送风量；

控制器，与所述空调箱、所述粒子检测仪、所述送风量阀信号连接，用于根据所述粒子检测仪检测到的洁净房间的粒子数量，调节所述送风量阀的送风量大小，从而调控洁净房间的粒子数量。

2.根据权利要求1所述的用于控制洁净区域粒子数量的装置，其特征在于，还包括：

压力传感器，用于检测洁净房间的静压；

回风量阀，用于调节洁净房间的回风量从而调节洁净房间的压差；

高效过滤器，用于过滤进入洁净房间的风；

所述控制器还与所述压力传感器、所述回风量阀、所述高效过滤器信号连接，用于根据所述压力传感器检测到的洁净房间的静压大小，调节所述回风量阀的开度，从而使洁净房间压差稳定在设定值。

3.根据权利要求2所述的用于控制洁净区域粒子数量的装置，其特征在于，还包括：

空调箱风速传感器，用于测量所述空调箱出风口的风速；

副风速传感器，用于测量洁净房间主风管的风速；

所述控制器还与所述空调箱风速传感器、所述副风速传感器信号连接，用于根据所述副风速传感器及所述空调箱风速传感器测量的风速数据，调节所述变频风机的总送风量大小。

4.根据权利要求3所述的用于控制洁净区域粒子数量的装置，其特征在于，所述送风量阀设置于所述副风速传感器与所述高效过滤器之间的管道上。

5.根据权利要求4所述的用于控制洁净区域粒子数量的装置，其特征在于，所述粒子检测仪设置在洁净房间的回风区域，用于检测洁净房间回风区域的粒子数量；所述控制器，用于根据所述粒子检测仪检测到的洁净房间回风区域的粒子数量，调节所述送风量阀的送风量大小，从而调控洁净房间的粒子数量。

6.根据权利要求5所述的用于控制洁净区域粒子数量的装置，其特征在于，所述空调箱还包括位于新风入口到出风口之间依次排列的初效过滤器、冷却单元、加热单元、加湿单元、中效过滤器和亚高效过滤器；所述变频风机设置在所述冷却单元和所述加热单元之间。

7.根据权利要求6所述的用于控制洁净区域粒子数量的装置，其特征在于，所述空调箱出风口后的管道上依次设置有所述空调箱风速传感器，所述副风速传感器、所述送风量阀、所述高效过滤器，从所述空调箱出风口送出的风经所述空调箱风速传感器测量风速后通过管道送往若干洁净房间，送往洁净房间的风经所述副风速传感器测量风速后经由所述送风量阀调节送风量，再通过所述高效过滤器过滤后送入洁净房间，送入洁净房间的风从所述洁净房间的回风口流出经过所述回风量阀，通过一次回风口和/或二次回风口再次进入所述空调箱，所述一次回风口位于所述初效过滤器和所述冷却单元之间，二次回风口位于所述冷却单元和所述变频风机之间；所述压力传感器位于所述洁净房间内。

8.根据权利要求7所述的用于控制洁净区域粒子数量的装置，其特征在于，所述控制器为PLC系统；所述空调箱风速传感器及所述副风速传感器为毕托管检测仪，毕托管检测仪的前后管道需设置一段直线管道，所述直线管道的长度大于管道直径或边长的2倍；洁净房间的实际送风量与所述毕托管检测仪的数据呈线性关系。