[实用新型]一种搬运装置

权利要求书

1.一种搬运装置，所述搬运装置包括驱动机构以及与所述驱动机构连接的晶圆抓取机构，所述晶圆抓取机构用于抓取晶圆，其特征在于，所述驱动机构包括第一气缸以及制动组件，所述制动组件与所述第一气缸的缸体固定连接或者一体设置，且所述制动组件位于所述第一气缸的活塞杆的外周，所述晶圆抓取机构与所述活塞杆固定连接，所述第一气缸用于驱动所述晶圆抓取机构沿预设方向移动，所述制动组件用于抱紧或松开所述第一气缸的活塞杆，所述制动组件为气动件，所述第一气缸与所述制动组件的气路相通；

在所述第一气缸以及所述制动组件通气时，所述制动组件松开所述第一气缸的活塞杆，在所述第一气缸以及所述制动组件失气时，所述制动组件抱紧所述第一气缸的活塞杆。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述制动组件包括制动销以及弹性件，所述制动组件通气时，气体抵压所述制动销靠近所述活塞杆以抱紧，所述弹性件处于蓄能状态；所述制动组件失气时，所述弹性件复位带动所述制动销松开所述活塞杆。

3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述制动组件包括一个或多个沿所述活塞杆周向分布的所述制动销；和/或，所述弹性件包括弹簧。

4.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述活塞杆的外周设置有凹槽，所述制动销能够插入所述凹槽以抱紧所述活塞杆。

5.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述制动组件包括制动壳体，所述制动壳体设置有安装槽，所述安装槽具有槽口，所述槽口朝向所述活塞杆的外周，所述制动销以及所述弹性件设置在所述安装槽内。

6.根据权利要求1-5任一项所述的搬运装置，其特征在于，所述第一气缸的所述活塞杆的端部具有导杆座，所述导杆座与所述晶圆抓取机构固定连接，所述导杆座上设置有至少一个导杆，所述导杆的一端与所述导杆座固定连接，所述导杆的另一端可伸缩地收容于所述第一气缸的缸体内以实现对所述导杆的导向定位。

7.根据权利要求1-5任一项所述的搬运装置，其特征在于，所述制动组件通过第一支气管与主气管连接，所述第一气缸通过第二支气管与主气管连接，所述主气管与气源连通。

8.根据权利要求7所述的搬运装置，其特征在于，所述主气管上设置有节流阀。

9.根据权利要求1-5任一项所述的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置还包括背板、设置于所述背板上的导轨、与所述导轨滑动连接的滑块以及与所述滑块连接的动力机构，所述滑块与所述第一气缸固定连接，所述动力机构用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动。

10.根据权利要求9所述的搬运装置，其特征在于，所述晶圆抓取机构包括吸盘架以及固定于所述吸盘架上的多个吸盘，所述多个吸盘用于抓取晶圆，所述吸盘架呈工字型，工字型所述吸盘架的四个端部分别设置有一个所述吸盘。