[实用新型]一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机

说明书

本实用新型公开了单晶硅片清洗机技术领域的一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，包括清洗机，清洗机上方左侧设有分流管，分流管外侧壁设有多组喷淋嘴，清洗机左侧壁设有水泵，水泵出水端连接设有第一输水管，固定板内前后两侧均开设有第二空腔，两组第二空腔内滑动连接设有滑动板，连接管内设有两组挡板，两组挡板相远离端分别贯穿连接管内前后侧壁与两组滑动板相对侧壁相连接，固定板内左侧开设有第一空腔，第一空腔内设有调节机构，本实用在调节机构的配合下能够带动滑动板进行移动，从而滑动板能够带动挡板进行移动，从而可调节流经连接管的流水量，方便对水的压力进行调节，从而能够对喷淋压力进行控制。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片清洗机技术领域，具体为一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机。

背景技术

在单晶硅片的制备过程中需要使用清洗机对其进行清洗脱胶，现有的清洗机大多采用喷淋的方法对单晶硅片进行清洗，但是不方便对喷淋水的压力进行控制，因此，需要一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，包括清洗机，所述清洗机上方左侧设有分流管，所述分流管外侧壁设有多组喷淋嘴，所述清洗机左侧壁设有水泵，所述水泵出水端连接设有第一输水管，所述分流管侧壁连接设有第二输水管，所述第一输水管一端连接设有连接管，所述连接管一端与第二输水管一端相连接，所述连接管外侧壁套接安装设有固定板，所述固定板内前后两侧均开设有第二空腔，两组所述第二空腔内滑动连接设有滑动板，所述连接管内设有两组挡板，两组所述挡板相远离端分别贯穿连接管内前后侧壁与两组所述滑动板相对侧壁相连接，所述固定板内左侧开设有第一空腔，所述第一空腔内设有调节机构。

进一步的，所述调节机构包括第一空腔内设有的双向丝杆，两组所述双向丝杆两端分别与第一空腔内前后侧壁设有的轴承相连接，所述双向丝杆前后外壁均套接设有滑块，两组所述滑块右侧壁分别与两组所述滑动板左侧壁相连接，所述双向丝杆外壁套接安装设有从动锥齿轮，所述第一空腔内设有与从动锥齿轮相啮合的主动锥齿轮，所述主动锥齿轮左侧壁设有转轴，所述转轴一端贯穿第一空腔内左侧壁与外部设有的调节旋钮相连接。

进一步的，所述第一空腔内左侧壁前后两侧均开设有导向槽，两组所述滑块左侧壁均设有与导向槽相匹配的导向块。

进一步的，两组所述第二空腔内右侧壁均开设有限位槽，两组所述滑动板右侧壁均设有与限位槽相匹配的限位块。

进一步的，多组所述喷淋嘴在所述分流管前侧壁呈线性阵列分布。

进一步的，所述清洗机顶部前后两侧均设有连接杆，两组所述连接杆一端均与分流管外侧壁相连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用在调节机构的配合下能够带动滑动板进行移动，从而滑动板能够带动挡板进行移动，从而可调节流经连接管的流水量，方便对水的压力进行调节，从而能够对喷淋压力进行控制。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型第一空腔和第二空腔内部结构俯视图。

图中：1、清洗机；2、水泵；3、第一输水管；4、固定板；5、连接管；6、第二输水管；7、分流管；8、喷淋嘴；9、连接杆；10、第一空腔；11、第二空腔；12、调节机构；121、从动锥齿轮；122、滑块；123、双向丝杆；124、调节旋钮；125、转轴；126、主动锥齿轮；13、挡板；14、滑动板。

具体实施方式