[实用新型]晶圆固化装置

说明书

本申请属于半导体技术领域，公开了一种晶圆固化装置，包括机体，所述机体内设置有固化平台和UV灯固化机构，所述机体侧边开设有门孔，所述门孔四周向内凸伸有凸边，所述机体内设置有升降机构，所述升降机构顶端设置有升降门，所述升降门整体呈顶边缺口的槽状，升降机构顶推升降门上下运动与门孔闭合或分离。通过在门孔四周向内凸伸设置凸边，再将升降门设置为整体呈顶边缺口的槽状，可以使升降门和门孔凸边严密贴合，整体封闭性高；通过升降机构顶推升降门上下运动，实现门孔的自动闭合与打开，配合外部机械手等传送部件工作，实现自动化进料出料，操作简单方便。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种晶圆固化装置。

背景技术

晶圆固化是指通过UV灯对晶圆进行照射，使其在短时间内固化。由于UV灯的工作原理是在真空的石英管中加入定量的高纯汞(水银)，通过对两端电极提供电压差(压降)，产生离子放电，从而产生紫外线辐射。这就要求晶圆固化需要在封闭环境下进行。

现有技术中，在进行晶圆固化时，需要通过机械手等传送部件将晶圆放置到晶圆固化装置的固化平台上，待固化完成后再将晶圆取出，这就要求在晶圆固化装置上要留有供机械手等传送部件通过的门孔，为了保持晶圆固化装置内的封闭环境，一般会在门孔上铰接设置有门板，通过手动方式开启或闭合，这就使得门板的启闭十分不方便，且传统的门板结构封闭性较差。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种晶圆固化装置。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种晶圆固化装置，包括机体，所述机体内设置有固化平台和UV灯固化机构，所述机体侧边开设有门孔，所述门孔四周向内凸伸有凸边，所述机体内设置有升降机构，所述升降机构顶端设置有升降门，所述升降门整体呈顶边缺口的槽状，升降机构顶推升降门上下运动与门孔闭合或分离。

通过采用上述技术方案，在门孔四周向内凸伸设置凸边，再将升降门设置为整体呈顶边缺口的槽状，可以使升降门和门孔凸边严密贴合，整体封闭性高；通过升降机构顶推升降门上下运动，实现门孔的自动闭合与打开，配合外部机械手等传送部件工作，实现自动化进料出料，操作简单方便。

进一步的，所述升降门包括与门孔平行的门板，所述门板的底板和两竖边向外凸伸有槽边，所述槽边的宽度与凸边宽度一致，所述门板两竖向槽边的内板面间距与门孔两竖向凸边的外板面间距一致。

通过采用上述技术方案，将槽边的宽度与凸边宽度设置为一致，门板两竖向槽边的内板面间距与门孔两竖向凸边的外板面间距设置为一致，使得升降门整体与凸边围成的门孔内环贴合紧密，整体封闭性更好。

进一步的，所述门板背离门孔的一面设置有加强筋。

通过采用上述技术方案，在门板背离门孔的一面设置加强筋，对门板起到加强作用，放置门板在长期使用过程中变形影响封闭性。

进一步的，所述升降机构包括伺服电缸，所述伺服电缸的缸体部分固定在机体内，所述伺服电缸的推杆向上且顶端设置有固定块，所述门板的底边槽边与固定块固定连接。

通过采用上述技术方案，升降机构采用伺服电缸，可以精确控制升降门的升降，确保升降门开启和关闭时的稳定性。

进一步的，所述固定块两端底部向下凸伸有导向杆，所述伺服电缸缸体上端设置有导向板，所述导向板对应导向杆位置处开设有导向孔，所述导向杆穿过导向孔。

通过采用上述技术方案，设置导向杆和导向孔，对升降门的升降运动进行竖直方向上的限位导向，使得升降门只能沿竖直方向运动，避免跑偏。

进一步的，所述伺服电缸的缸体上设置有安装架，所述安装架固定安装在机体内。

通过采用上述技术方案，设置安装架，使伺服电缸能很好地安装在机体内，安装稳定。