[实用新型]一种汽车激光雷达用滤光片、光模组和激光雷达

说明书

本实用新型涉及光学器件领域，提出一种汽车激光雷达用滤光片、光模组和激光雷达。所述汽车激光雷达用滤光片包括第一镀膜层和第二镀膜层，以及设于所述第一镀膜层和第二镀膜层之间的基板，所述第一镀膜层包括截止膜层，所述第二镀膜层包括分光膜层。其中，所述第一镀膜层包括交替设置的二氧化硅层和氢化硅层。本实用新型采用交替设置的二氧化硅层和氢化硅层，替代常规的Ta2O5/SiO2交替沉积工艺，经厚度优化后，其滤光片厚度能够减薄一半以上，有效避免基片变形，进而提高滤光片的精度。

技术领域

本实用新型涉及光学器件领域，更具体地，涉及一种汽车激光雷达用滤光片、光模组和激光雷达。

背景技术

在汽车领域，由于毫米波雷达存在成本较高、受恶劣天气影响较大、工作寿命较短，无法探测行人、静止物体等弱点，车载摄像头存在过度依赖光线环境、训练样本等弱点，安全性、可靠性、精度、稳定性均不能得到高度保障。随着全球自动驾驶升级，激光雷达前装市场有望提前全面铺开。激光雷达(LiDAR，Light Detection And Ranging)主要采用激光发射器及光束扫描技术发射介于红外线与可见光之间的激光，通过测量激光信号的时间差及相位差描绘周围物体的三维点云图，从而获取精确距离、轮廓信息。

然而，目前的汽车激光雷达用滤光片需要较宽的截止波段，采用常规的Ta2O5/SiO2交替沉积工艺，所需镀层相当厚，会存在应力大、基片变形等问题。

实用新型内容

本实用新型为克服上述现有技术所述的汽车激光雷达用滤光片镀层较厚，存在应力大、基片容易变形的缺陷，提供一种汽车激光雷达用滤光片，以及应用所述滤光片的光模组、激光雷达。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

一种汽车激光雷达用滤光片，包括第一镀膜层和第二镀膜层，以及设于所述第一镀膜层和第二镀膜层之间的基板，所述第一镀膜层包括截止膜层，所述第二镀膜层包括分光膜层。其中，所述第一镀膜层包括交替设置的二氧化硅层和氢化硅层。

本技术方案中，采用SiO2/SiH交替的膜层结构，并对其厚度进行优化，与常规的Ta2O5/SiO2交替沉积工艺相比能够减薄一半以上，便于滤光片的制备，同时能够有效避免基片变形。

作为优选方案，所述第一镀膜层包括至少11层二氧化硅层和至少10层氢化硅层，且所述第一镀膜层的最内层和最外层为二氧化硅层。

作为优选方案，所述第一镀膜层包括交替设置的二氧化硅层和氢化硅层共21层；所述第一镀膜层中各膜层厚度分别包括：

第1层二氧化硅层的厚度为19.71nm；第2层氢化硅层的厚度为36.7nm；

第3层二氧化硅层的厚度为57.01nm；第4层氢化硅层的厚度为158.87nm；

第5层二氧化硅层的厚度为190.2nm；第6层氢化硅层的厚度为43.26nm；

第7层二氧化硅层的厚度为71.79nm；第8层氢化硅层的厚度为149.29nm；

第9层二氧化硅层的厚度为163.25nm；第10层氢化硅层的厚度为70.24nm；

第11层二氧化硅层的厚度为98.84nm；第12层氢化硅层的厚度为136.4nm；

第13层二氧化硅层的厚度为149.5nm；第14层氢化硅层的厚度为66nm；

第15层二氧化硅层的厚度为187.34nm；第16层氢化硅层的厚度为110.45nm；

第17层二氧化硅层的厚度为225.01nm；第18层氢化硅层的厚度为65.45nm；

第19层二氧化硅层的厚度为86.71nm；第20层氢化硅层的厚度为135.46nm；