[实用新型]一种汽车激光雷达用滤光片、光模组和激光雷达

权利要求书

1.一种汽车激光雷达用滤光片，包括第一镀膜层(1)和第二镀膜层(2)，以及设于所述第一镀膜层(1)和第二镀膜层(2)之间的基板(3)，其特征在于，所述第一镀膜层(1)包括截止膜层，所述第二镀膜层(2)包括分光膜层；其中，所述第一镀膜层(1)包括交替设置的二氧化硅层和氢化硅层。

2.根据权利要求1所述的汽车激光雷达用滤光片，其特征在于，所述第一镀膜层(1)包括至少11层二氧化硅层和至少10层氢化硅层，且所述第一镀膜层(1)的最内层和最外层为二氧化硅层。

3.根据权利要求1所述的汽车激光雷达用滤光片，其特征在于，所述第一镀膜层(1)包括交替设置的二氧化硅层和氢化硅层共21层；所述第一镀膜层(1)中各膜层厚度分别包括：

第1层二氧化硅层的厚度为19.71nm；第2层氢化硅层的厚度为36.7nm；

第3层二氧化硅层的厚度为57.01nm；第4层氢化硅层的厚度为158.87nm；

第5层二氧化硅层的厚度为190.2nm；第6层氢化硅层的厚度为43.26nm；

第7层二氧化硅层的厚度为71.79nm；第8层氢化硅层的厚度为149.29nm；

第9层二氧化硅层的厚度为163.25nm；第10层氢化硅层的厚度为70.24nm；

第11层二氧化硅层的厚度为98.84nm；第12层氢化硅层的厚度为136.4nm；

第13层二氧化硅层的厚度为149.5nm；第14层氢化硅层的厚度为66nm；

第15层二氧化硅层的厚度为187.34nm；第16层氢化硅层的厚度为110.45nm；

第17层二氧化硅层的厚度为225.01nm；第18层氢化硅层的厚度为65.45nm；

第19层二氧化硅层的厚度为86.71nm；第20层氢化硅层的厚度为135.46nm；

第21层二氧化硅层的厚度为337.31nm。

4.根据权利要求1～3任一项所述的汽车激光雷达用滤光片，其特征在于，所述第一镀膜层(1)中交替设置的二氧化硅层和氢化硅层分别为磁控溅射镀膜层。

5.根据权利要求1～3任一项所述的汽车激光雷达用滤光片，其特征在于，所述第二镀膜层(2)包括交替设置的五氧化二钽层和二氧化硅层。

6.根据权利要求5所述的汽车激光雷达用滤光片，其特征在于，所述第二镀膜层(2)包括至少39层五氧化二钽层和至少38层二氧化硅层，且所述第二镀膜层(2)的最内层和最外层为五氧化二钽层。

7.根据权利要求5所述的汽车激光雷达用滤光片，其特征在于，所述第二镀膜层(2)包括交替设置的五氧化二钽层和二氧化硅层共77层，其中，以交替设置的4层膜层为一个循环周期；任一所述循环周期内各层的膜层厚度包括：

第1层五氧化二钽层的厚度为155.45nm，第2层二氧化硅层的厚度为222.33nm，第3层五氧化二钽层的厚度为155.45nm，第4层二氧化硅层的厚度为156.77nm。

8.根据权利要求5所述的汽车激光雷达用滤光片，其特征在于，所述第二镀膜层(2)中交替设置的五氧化二钽层和二氧化硅层分别为电子束蒸发镀膜层。

9.一种光模组，其特征在于，由透镜组、分束器，以及如权利要求1～8任一项所述的汽车激光雷达用滤光片组成。

10.一种激光雷达，其特征在于，包括激光发射模组、激光接收模组、光束操控模组和信息处理模组，所述激光接收模组包括透镜组、分束器，以及如权利要求1～8任一项所述的汽车激光雷达用滤光片。