[实用新型]一种晶圆片清洗提篮装置

说明书

本实用新型涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种晶圆片清洗提篮装置，所述基座上表面开设放置槽，所述放置槽的槽底开设多个通孔；所述储水抽屉水平穿入基座中，所述储水抽屉的储水空间通过通孔连通放置槽的槽体；所述提手设置在基座上方，并与基座固定连接。本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供的晶圆片清洗提篮装置，使晶圆片清洗工序结束后，卡塞上的清洗液不会滴落在地面上污染周围环境；工作人员只需定期拖拽储水抽屉使其从基座中滑出，处理储水抽屉中的清洗液就能保证所述晶圆片清洗提篮装置的正常使用。

技术领域

本实用新型涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种晶圆片清洗提篮装置。

背景技术

清洗工序是LED芯片生产工艺中的一个重要环节，比如刻蚀晶圆片后，需要清洗掉刻蚀残留物，保证LED芯片的生产质量。

现有技术中，将卡塞作为晶圆片的载盒，工作人员通过卡塞将晶圆片放入清洗机，随后通过卡塞转运晶圆片。但是在卡塞从清洗机中取出后，卡塞一直在滴清洗液，污染了工作人员的工作环境。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种晶圆片清洗提篮装置，使清洗工序后，晶圆片的转运不污染周围环境。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的一种技术方案为：一种晶圆片清洗提篮装置，包括基座、储水抽屉和提手；

所述基座上表面开设放置槽，所述放置槽的槽底开设多个通孔；

所述储水抽屉水平穿入基座中，所述储水抽屉在放置槽下方，所述储水抽屉的储水空间通过通孔连通放置槽的槽体；

所述提手设置在基座上方，并与基座固定连接。

进一步地，所述储水抽屉外侧面上设有把手。

进一步地，所述储水抽屉穿入基座使基座上形成具有开口的滑动腔；所述储水抽屉靠近开口的外侧壁边沿设有密封圈。

进一步地，所述储水抽屉外底面贴附设有海棉层。

进一步地，所述提手包括三角框架和手提杆，所述三角框架设有两个，所述三角框架立设在基座上，两个所述三角框架相对且分别设置在基座的一侧的边缘；两个所述三角框架的顶端通过手提杆连接。

进一步地，所述放置槽的槽壁倾斜，所述放置槽的槽壁与槽底具有100-150度的夹角。

本实用新型的有益效果在于：在晶圆片清洗工序结束后，工作人员将所述晶圆片清洗提篮装置放入清洗机中，将卡塞放置在基座的放置槽中，卡塞上的清洗液被放置槽收集后经过通孔流到储水抽屉中。工作人员手握提手将晶圆片进行转运。

故而本实用新型提供的晶圆片清洗提篮装置，使晶圆片清洗工序结束后，卡塞上的清洗液不会滴落在地面上污染周围环境；工作人员只需定期拖拽储水抽屉使其从基座中滑出，处理储水抽屉中的清洗液就能保证所述晶圆片清洗提篮装置的正常使用。

附图说明

图1为本实用新型具体实施方式的一种晶圆片清洗提篮装置的部分结构示意图；

图2为本实用新型具体实施方式的一种晶圆片清洗提篮装置的整体结构剖视图；

标号说明：

1、基座；11、放置槽；12、通孔；

2、储水抽屉；21、把手；

3、提手；31、三角框架；32、手提杆；

4、挡围条。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。