[实用新型]一种半导体盘料用搬运结构

说明书

本实用新型属于半导体物料搬运技术领域，涉及一种半导体盘料用搬运结构，包括Z向模组和沿Z向模组上下移动的搬运装置，搬运装置包括与Z向模组滑动配合的连接板和设置在连接板下方的定位板，定位板上方设有过压浮动结构，定位板下方设有夹持机构和吸盘机构，过压浮动结构设置在连接板和定位板之间，过压浮动结构上设有弹性件，且过压浮动结构上还设有过压传感器，过压传感器与连接板的驱动机构信号连接，吸盘机构设有两组，分别为内圈吸盘组件和外圈吸盘组件，定位板上还设有掉料感应器，掉料感应器与整机控制系统信号连接。本实用新型结构简单，操作方便，实现了对物料的搬运功能，能够有效保护物料，防止物料损坏，保证了物料搬运的安全性。

技术领域

本实用新型属于半导体物料搬运技术领域，具体涉及一种半导体盘料用搬运结构。

背景技术

半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。

半导体在加工时，常须对盘料进行搬运，现有的搬运设备多依靠吸盘或夹爪进行辅助搬运，存在较大的掉料或损坏盘料的搬运风险。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺陷与不足，设计的一种较经济、高效、安全的半导体盘料用搬运结构，能够节省空间，节省人力，匹配半导体行业的高速率。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种半导体盘料用搬运结构，包括Z向模组和沿Z向模组上下移动的搬运装置，所述搬运装置包括与Z向模组滑动配合的连接板和设置在连接板下方的定位板，所述定位板上方设有过压浮动结构，所述定位板下方设有夹持机构和吸盘机构。

优选的，所述过压浮动结构设置在连接板和定位板之间。

优选的，所述过压浮动结构上设有弹性件，且过压浮动结构上还设有过压传感器，所述过压传感器与连接板的驱动机构信号连接。

优选的，所述吸盘机构设有两组，均呈圆环形分布，分别为内圈吸盘组件和外圈吸盘组件。

优选的，所述定位板上还设有掉料感应器，所述掉料感应器与整机控制系统信号连接。

采用上述技术方案后，本实用新型提供的一种半导体盘料用搬运结构具有以下有益效果：

本实用新型通过过压浮动结构和过压传感器的设计，能够防止压坏盘料；通过夹持机构和吸盘机构的设计，以及吸盘机构内外两组的设计，能够起到双重保护，大大降低了搬运过程中物料的掉落率；同时还设有掉料感应器，如果搬运过程中物料不慎掉落，掉料感应器能够及时感知并停机。因此，本实用新型结构简单，操作方便，实现了对物料的搬运功能，能够有效保护物料，防止物料损坏，保证了物料搬运的安全性。

附图说明

图1为本实用新型一种半导体盘料用搬运结构的结构示意图；

图2为本实用新型一种半导体盘料用搬运结构的侧视图；

图3为本实用新型一种半导体盘料用搬运结构的后视图。

其中：Z向模组1、连接板2、定位板3、过压浮动结构4、夹持机构5、过压传感器6、内圈吸盘组件7、外圈吸盘组件8、掉料感应器9。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。