[实用新型]晶圆划片装置

说明书

本申请涉及晶圆生产设备技术领域，且公开了晶圆划片装置，包括机壳，所述机壳的内壁固定连接有第一导轨，所述第一导轨通过第一滑块插接安装有第二导轨，所述第二导轨一端底部通过第二滑块安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆的输出端固定连接有转动马达，所述转动马达的输出端贯穿第一电动推杆的输出端且固定连接有切割电机，所述切割电机的输出端固定连接有镍基刀片，所述机壳的内壁固定连接有工作箱，所述工作箱的内壁通过轴承转动连接有螺纹杆。本申请能够将放置板移出机壳，方便操作人员在机壳的外部对晶圆进行更换，进一步提高了操作人员工作的便利性。

技术领域

本申请涉及晶圆生产设备技术领域，尤其涉及晶圆划片装置。

背景技术

晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999%。晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。

在实现本申请过程中，发明人发现该技术中至少存在如下问题，现有的划片装置在对晶圆进行划片时，需要操作人员在设备内部对晶圆进行拆装，在设备内部对晶圆进行拆装较为不便，影响操作人员的工作效率。

实用新型内容

本申请的目的是为了解决现有技术中划片装置在对晶圆进行划片时，需要操作人员在设备内部对晶圆进行拆装，在设备内部对晶圆进行拆装较为不便，影响操作人员工作效率的问题，而提出的晶圆划片装置。

为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：

晶圆划片装置，包括机壳，所述机壳的内壁固定连接有第一导轨，所述第一导轨通过第一滑块插接安装有第二导轨，所述第二导轨一端底部通过第二滑块安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆的输出端固定连接有转动马达，所述转动马达的输出端贯穿第一电动推杆的输出端且固定连接有切割电机，所述切割电机的输出端固定连接有镍基刀片，所述机壳的内壁固定连接有工作箱，所述工作箱的内壁通过轴承转动连接有螺纹杆，所述工作箱的侧壁固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿工作箱的侧壁且与螺纹杆固定连接，所述螺纹杆的杆壁螺纹套设有有螺纹筒，所述螺纹筒的侧壁固定连接有弯板，所述工作箱的侧壁开设有与弯板相互匹配的滑动口，所述弯板伸出滑动口的侧壁连接有连接圈，所述连接圈的内壁固定连接有承载台，所述承载台的上侧壁固定连接有放置板。

优选的，所述放置板的上侧壁对称固定连接有两个连接座，所述连接座的上侧壁通过转轴转动连接有横板，所述横板的侧壁固定连接有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出端固定连接有压板。

通过采用上述技术方案，方便对晶圆进行固定。

优选的，所述压板和放置板相向一侧的侧壁均固定连接有耐磨橡胶垫。

通过采用上述技术方案，增加了晶圆放置的稳定性。

优选的，所述机壳的上侧壁固定连接有吸尘器，所述机壳的上侧壁固定连接有废料罐，所述吸尘器的出料端和废料罐的上侧壁固定连通，所述吸尘器的进料端固定连通有吸尘管，所述吸尘管的下端穿过机壳的上侧壁且延伸至机壳的底部。

通过采用上述技术方案，能够吸附聚集在机壳底部的粉尘和杂质。

优选的，所述机壳的底部固定连接有收集斗。

通过采用上述技术方案，方便聚集粉尘。

优选的，所述螺纹筒远离弯板的侧壁固定连接有滑板，所述工作箱的内壁开设有与滑板相互匹配的滑槽。

通过采用上述技术方案，通过滑板和滑槽的相互配合，避免螺纹筒旋转，使螺纹筒能够水平方向前后移动，减少了弯板和滑动口之间的磨损。