[实用新型]晶圆划片装置

权利要求书

1.晶圆划片装置，包括机壳（1），其特征在于，所述机壳（1）的内壁固定连接有第一导轨（2），所述第一导轨（2）通过第一滑块插接安装有第二导轨（3），所述第二导轨（3）一端底部通过第二滑块安装有第一电动推杆（4），所述第一电动推杆（4）的输出端固定连接有转动马达（5），所述转动马达（5）的输出端贯穿第一电动推杆（4）的输出端且固定连接有切割电机（6），所述切割电机（6）的输出端固定连接有镍基刀片（7），所述机壳（1）的内壁固定连接有工作箱（8），所述工作箱（8）的内壁通过轴承转动连接有螺纹杆（9），所述工作箱（8）的侧壁固定连接有电机（10），所述电机（10）的输出端贯穿工作箱（8）的侧壁且与螺纹杆（9）固定连接，所述螺纹杆（9）的杆壁螺纹套设有有螺纹筒（11），所述螺纹筒（11）的侧壁固定连接有弯板（12），所述工作箱（8）的侧壁开设有与弯板（12）相互匹配的滑动口（13），所述弯板（12）伸出滑动口（13）的侧壁连接有连接圈（14），所述连接圈（14）的内壁固定连接有承载台（15），所述承载台（15）的上侧壁固定连接有放置板（16）。

2.根据权利要求1所述的晶圆划片装置，其特征在于，所述放置板（16）的上侧壁对称固定连接有两个连接座（17），所述连接座（17）的上侧壁通过转轴转动连接有横板（18），所述横板（18）的侧壁固定连接有第二电动推杆（19），所述第二电动推杆（19）的输出端固定连接有压板（20）。

3.根据权利要求2所述的晶圆划片装置，其特征在于，所述压板（20）和放置板（16）相向一侧的侧壁均固定连接有耐磨橡胶垫（21）。

4.根据权利要求1所述的晶圆划片装置，其特征在于，所述机壳（1）的上侧壁固定连接有吸尘器（22），所述机壳（1）的上侧壁固定连接有废料罐（23），所述吸尘器（22）的出料端和废料罐（23）的上侧壁固定连通，所述吸尘器（22）的进料端固定连通有吸尘管（24），所述吸尘管（24）的下端穿过机壳（1）的上侧壁且延伸至机壳（1）的底部。

5.根据权利要求1所述的晶圆划片装置，其特征在于，所述机壳（1）的底部固定连接有收集斗（25）。

6.根据权利要求1所述的晶圆划片装置，其特征在于，所述螺纹筒（11）远离弯板（12）的侧壁固定连接有滑板（26），所述工作箱（8）的内壁开设有与滑板（26）相互匹配的滑槽（27）。

7.根据权利要求1所述的晶圆划片装置，其特征在于，所述电机（10）为伺服电机。

8.根据权利要求4所述的晶圆划片装置，其特征在于，所述吸尘管（24）的管壁连通有吸尘头（28）。