[实用新型]一种集成电路生产用半导体封装装置有效
申请号: | 202223024898.5 | 申请日: | 2022-11-15 |
公开(公告)号: | CN218918803U | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 岑凤 | 申请(专利权)人: | 深圳市丰然宇科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/56;H01L21/687 |
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地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 生产 半导体 封装 装置 | ||
1.一种集成电路生产用半导体封装装置,包括基座(1),其特征在于,所述基座(1)顶端的中部固定设有支架(2),所述支架(2)的顶端固定设有封装台(3),所述基座(1)顶端的两侧均固定设有支板(4),两个所述支板(4)之间设有顶板(5),所述顶板(5)底端的中部固定设有气缸(6),所述气缸(6)的活塞杆固定设有衔接板(7),所述封装台(3)顶端的两侧均设有限位组件(8),所述衔接板(7)的底端设有缓冲组件(9)。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用半导体封装装置,其特征在于:两个所述限位组件(8)均包括立板(81)、连接丝杆(82)、滑轨(83)、移动座(84)和丝杆螺母(85),两个所述立板(81)分别固定设置在封装台(3)顶端的两侧,两个所述立板(81)的内壁均通过轴承转动连接有连接丝杆(82),两个所述立板(81)的一侧均固定设有滑轨(83),两个所述滑轨(83)的内壁均滑动连接有移动座(84),两个所述移动座(84)的内壁均固定设有分别与两个连接丝杆(82)螺纹连接的丝杆螺母(85)。
3.根据权利要求2所述的一种集成电路生产用半导体封装装置,其特征在于:两个所述移动座(84)的一侧均固定设有两个连接杆(841),同一侧的两个所述连接杆(841)之间固定设有限位板(842),两个所述限位板(842)两侧的内壁均螺纹连接有限位螺杆(843),四个所述限位螺杆(843)的一端均固定设有限位盘(844)。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用半导体封装装置,其特征在于:所述缓冲组件(9)包括滑槽(91)、缓冲块(92)和若干个减震器(93),所述滑槽(91)开设在衔接板(7)底端的内壁,所述滑槽(91)的内壁滑动连接有缓冲块(92),所述滑槽(91)内壁的顶端固定设有若干个减震器(93),若干个所述减震器(93)的一端均与缓冲块(92)的顶端固定连接。
5.根据权利要求3所述的一种集成电路生产用半导体封装装置,其特征在于:两个所述限位盘(844)均为弹性橡胶材质制成。
6.根据权利要求2所述的一种集成电路生产用半导体封装装置,其特征在于:两个所述连接丝杆(82)的一端均固定设有圆盘(10)。
7.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用半导体封装装置,其特征在于:所述支架(2)的正面固定设有开关面板(11),所述开关面板(11)的表面固定设有气缸开关,所述气缸(6)通过气缸开关与电源电性连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造