[实用新型]一种晶圆在晶舟间的传片装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆在晶舟间的传片装置，属于晶圆传片技术领域，包括能够相对水平位移的第一载体和第二载体，第一载体上设有第一晶舟，第二载体上设有第二晶舟；第一载体或第二载体上设有具有水平位移功能的顶推件，用于顶推晶舟内晶圆。本实用新型通过两个载体带动两个晶舟进行水平位移，使两个晶舟靠近，再通过推动件将一个晶舟内晶圆推动至另一个晶舟，实现晶圆传片，以此避免晶圆滑片，提高了晶圆传片的安全性。

技术领域

本实用新型涉及晶圆传片技术领域，尤其涉及一种晶圆在晶舟间的传片装置。

背景技术

在半导体制作过程中，经常需要进行晶圆传片，若晶圆传片过程中出现滑片将损坏晶圆，进而大大提高了生产成本，因此在晶圆传片的整个过程中，需要严格把控安全因素，避免晶圆在传片过程中出现滑片情况。

现有技术一般是使用纵向加水平的传片方式，即将晶圆从一个晶舟内取出再放入另一个晶舟，然而在晶圆脱离晶舟的过程中易发生滑片，从而导致晶圆损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的问题，提供了一种晶圆在晶舟间的传片装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：一种晶圆在晶舟间的传片装置，所述传片装置包括能够相对水平位移的第一载体和第二载体，第一载体上设有第一晶舟，第二载体上设有第二晶舟；第一载体或第二载体上设有具有水平位移功能的顶推件，用于顶推晶舟内晶圆。

在一示例中，所述第一载体底部设有第一水平位移组件，和/或，第二载体底部设有第二水平位移组件。

在一示例中，所述第一水平位移组件包括顺次连接的第一驱动件和第一传动部件；第二水平位移组件包括顺次连接的第二驱动件和第二传动部件。

在一示例中，所述顶推件为机械臂或顶推板。

在一示例中，所述机械臂或顶推板与晶圆的接触面为光滑防静电的端面。

在一示例中，所述第一载体和/或第二载体上设有第三导轨，第三导轨内设有第三传动部件，第三传动部件一端与第三驱动件连接，另一端与机械臂或顶推板连接。

在一示例中，所述第一载体和/或第二载体上设有限位件，限位件与晶舟匹配连接。

在一示例中，所述传片装置还包括控制模块，控制模块与第一驱动件、第二驱动件连接；当第一载体和/或第二载体上设有第三驱动件时，第三驱动件与控制模块连接。

在一示例中，所述第一载体和/或第二载体上安装晶舟的位置上设有按压式感应器，按压式感应器与控制模块连接。

在一示例中，所述控制模块还连接有操作显示模块。

需要进一步说明的是，上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的技术方案。

与现有技术相比，本实用新型有益效果是：

1.在一示例中，通过两个载体带动两个晶舟进行水平位移，使两个晶舟靠近，再通过推动件将一个晶舟内晶圆推动至另一个晶舟，实现晶圆传片，以此避免晶圆滑片，提高了晶圆传片的安全性。

2.在一示例中，光滑防静电的端面与晶圆接触，一方面能够保证晶圆在移动过程中不会受静电影响，另一方面能够防止损伤晶圆。

3.在一示例中，限位件能够有效固定晶舟，一方面能够防止晶舟在水平位移中移动或者掉落，进而损坏晶圆，另一方面能保证两个晶舟的对位精度。

4.在一示例中，通过按压式传感器检测晶舟是否放置在预定位置，以保证后续晶圆传片的精度，可靠性高。

附图说明