[实用新型]一种晶圆在晶舟间的传片装置

权利要求书

1.一种晶圆在晶舟间的传片装置，其特征在于：其包括能够相对水平位移的第一载体(2)和第二载体(3)，第一载体(2)上设有第一晶舟(4)，第二载体(3)上设有第二晶舟(5)；

第一载体(2)或第二载体(3)上设有具有水平位移功能的顶推件，用于顶推晶舟内晶圆。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆在晶舟间的传片装置，其特征在于：所述第一载体(2)底部设有第一水平位移组件，和/或，第二载体(3)底部设有第二水平位移组件。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆在晶舟间的传片装置，其特征在于：所述第一水平位移组件包括顺次连接的第一驱动件和第一传动部件；第二水平位移组件包括顺次连接的第二驱动件和第二传动部件。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆在晶舟间的传片装置，其特征在于：所述顶推件为机械臂(6)或顶推板。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆在晶舟间的传片装置，其特征在于：所述机械臂(6)或顶推板与晶圆的接触面为光滑防静电的端面。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆在晶舟间的传片装置，其特征在于：所述第一载体(2)和/或第二载体(3)上设有第三导轨(10)，第三导轨(10)内设有第三传动部件，第三传动部件一端与第三驱动件连接，另一端与机械臂(6)或顶推板连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆在晶舟间的传片装置，其特征在于：所述第一载体(2)和/或第二载体(3)上设有限位件，限位件与晶舟匹配连接。

8.根据权利要求3或6所述的一种晶圆在晶舟间的传片装置，其特征在于：所述传片装置还包括控制模块，控制模块与第一驱动件、第二驱动件连接；

当第一载体(2)和/或第二载体(3)上设有第三驱动件时，第三驱动件与控制模块连接。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆在晶舟间的传片装置，其特征在于：所述第一载体(2)和/或第二载体(3)上安装晶舟的位置上设有按压式感应器(8)，按压式感应器(8)与控制模块连接。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆在晶舟间的传片装置，其特征在于：所述控制模块还连接有操作显示模块。